期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

全文获取类型

收费全文	1篇
免费	0篇

专业分类

一般工业技术

1篇

出版年

2000年

1篇

排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 31 毫秒

在(111)Si基底上直接溅射合成PbTiO3薄膜以及Pb损失的抑制 总被引：1，自引：0，他引：1

赵强汤兆胜冯士猛范正修《功能材料》2000,31(4):412-415

利用射频磁控溅射系统，采用Ｔｉ、Ｐｂ组合靶，以Ｏ２为反应气体，在（１１１）Ｓｉ基板上直接沉积ＰｂＴｉＯ３薄膜，通过对不同基底温度以及沉积后的薄膜在不同的氧气氛中采用不同的降温速率降温制备。通过对所得的薄膜的结构和组成以及光学和电学特性的测试１分析得出：在５３５℃时沉积、溅射后直接充入１０７Ｐａ的氧气并且以３℃／ｍｉｎ的速率降至室温，制备出了性能较好的具有钙钛矿结构的ＰｂＴｉＯ３薄膜，并对薄膜的形成相似文献