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模拟自对准硅化物技术的两步退火工艺,对超高真空(UHV)下制备的Ti/Si样品依次进行低温退火、腐蚀和高温退火。利用俄歇微探针(AES)和X射线衍射(XRD)分析样品的组分及晶相。发现高温退火后,薄膜内同时生成了Ti的硅化物及氮化物,这对发展MOS器件工艺中自对准硅、氮化物技术很有意义。另外,还利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜形貌,用VandePauw法测量了薄膜电阻。 相似文献
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湘西金矿加强残矿回收的途径 总被引:3,自引:0,他引:3
湘西金矿是一个开采百余年的老矿山,作业中段多,其残柱、残矿也较多。本又总结了该矿加强残矿回收和二次回采充填料矿的技术工作经验和方法以及取得的结果。实践表明,这些经验和方法对缓解当时矿山深部开拓接替不上、供矿紧张、稳定黄金产量都具有明显的作用。 相似文献
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根据湖南辰州矿业公司沃溪矿区V7矿脉的特点,试验了长锚杆预控顶尾砂胶结充填采矿法,并取得成功.对该方法的适应条件、技术参数、回采步骤、控顶措施、空区处理及技术经济评价等都作了阐述. 相似文献
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<正> 使索尔维法制碱生产过程得到强化,首先就是要延长氨蒸馏的工作时间。周期性地停开蒸馏塔的主要原因在于流体的阻力增加。这是由于在蒸馏塔的壁上和构件上以及石灰搅拌器上出现硬沉淀物所引起的。硬沉淀物的主要成份是硫酸钙。为了完全防止蒸馏塔和石灰搅拌器上产生沉淀物,应该研究在氨再生过程中引起沉淀物产生的化合物的溶液成份、生产过程的条件、设备材质的种类等对沉淀物数量的影响,就有可能了解产生这种有害现象的原因。本文就是根据过滤后的母液中硫酸盐的浓度,用于氨再生的过量石灰乳、以及设备材质的种类,确定在一个小时的过程内,在氨再生的设备内产生沉淀物的数量。 相似文献
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模拟自对硅化物技术的两退火工艺,对超高真空(UHV)下制备的Ti/Si样品依次进行低温退火、腐蚀和高温退火。利用俄歇微探针(AES)和X射线衍射的(XRD)分析样品的组分及晶相、发现高温退火后,薄膜内同时生成了Ti的硅化物及氮化物,这对发展MOS器件工艺中自对硅、氮化物技术很有意义。另外,还利用扫描电(SEM)观察了薄膜形貌,用Van de Pauw法测量薄膜电阻。 相似文献
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