排序方式: 共有5条查询结果,搜索用时 0 毫秒
1
1.
氮化硅膜具有对软X射线吸收较小、成膜光滑、强度大和致密性好等优点,因而常选作为窗口材料。本文主要介绍了用于软X射线显微术的氮化硅窗口的制备工艺,给出在国家同步辐射实验室软X射线显微术实验站使用的实验结果。 相似文献
2.
3.
4.
5.
1