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采用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了不同掺杂量的Fe-ZnO薄膜,分析不同掺杂量对薄膜光学性能的影响.利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)研究Fe-ZnO薄膜的微观结构和形貌结构.Fe-ZnO薄膜光致发光(PL)性质的研究发现,发光峰主要有蓝光发射和绿光发射,蓝光发射主要是由于电子从导带向锌空位形成的浅受主能级上的跃迁;绿光发射是由于电子从氧空位到锌空位的能级跃迁及导带底到氧错位缺陷能级的跃迁.由透射谱和吸收谱分析,Fe-ZnO薄膜在可见光区的平均透过率为66%,掺杂量为2%Fe的薄膜的禁带宽度最接近于ZnO的禁带宽度. 相似文献
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