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厚膜压力传感器具有优良的性能和广阔的应用前景。厚膜浆料的研究在传感器研制中超着非常重要的作用。本文主要讨论表征浆料物化特性、工艺配方的几个重要参数(导电相的浓度和颗粒度,玻璃粉的粒度与化学组成)对厚膜电阻 R、GF 和 TCR 的影响。同时,借助于 SEM 和 XRD 等分析手段,对厚膜电阻的导电机理、力敏特性与浆料物化特性之间的关系也进行了一些探讨。 相似文献
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