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直流磁控溅射功率对溅射生长GZO薄膜光电性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
本文采用直流磁控溅射沉积系统在玻璃基底上沉积镓掺杂氧化锌(GZO)薄膜,将溅射功率从120W调整到240W,步长为30W,研究功率变化对GZO薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性能和电学性能的影响。结果表明,溅射功率对GZO薄膜电阻率有显著的影响。溅射功率为210W时薄膜呈现最低电阻率为3.31×10~(-4)Ω·cm,可见光波段平均光学透光率接近84%。随着溅射功率的增加,薄膜表面形貌和生长形态发生较大变化,并直接得到具有一定凸凹不平的微结构,GZO薄膜的致密性先增加后降低。 相似文献
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光伏电站的运营收益不理想,主要原因是沉积在光伏电池板表面的灰尘严重影响了电池板的正常发电,国内外多个调查机构针对灰尘影响光伏系统功率衰减进行研究,得出数据表明:我国光伏系统输出功率受灰尘影响平均约20%左右,即1兆瓦电站每年因灰尘损失电量约25万KWh,科技工作者投入大量资金花费几年的时间才能使光伏组件技术提升1~2个百分点的发电效率,但如果能有效解决光伏组件表面灰尘等污染物的清扫问题就能提高发电量将达到15%以上,因此保持光伏电站光伏电池板的清洁将能大大提高光伏电站的发电能力. 相似文献
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