复合式分子泵

本文介绍一种新型涡轮分子泵──复合式分子泵,文中首先叙述了盖德牵引分子泵和贝克的涡轮分子泵以及现在流行的涡轮分子泵存在的缺点,接着介绍了复合式分子泵的结构和性能特点,最后介绍它的应用情况。 (一) 盖德在1911年发明了分子泵,其工作原理如图1,在定子2中有一光滑的园柱形转子以很高的速度旋转,当环形沟槽中的气体分子碰到园柱体表面时,气体分子就得到一个附加的冲力,其方向与转动的园柱体旋转方向一致。如果上部间隙减少到很小时,那么被旋转体带走的气体分子就被压缩到排气口4中,这样进气口5中的气体分子数大大减少就形成真空,这种…