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为了精确控制与补偿物镜的热像差,设计了一套三镜实验光学系统,基于该系统验证了热像差计算方法的准确性。介绍了热像差分析方法及验证实验方案。开展不同热载工况下热像差测试实验,并与仿真结果进行了对比。最后,综合实验与仿真结果,分析了特定热载条件下系统热像差中非轴对称像差成分以及系统最佳焦面的变化趋势,获得了热像差的瞬态特性。实验结果显示:在输入热载大小之比为1∶4∶9的情况下,实验和仿真获得的热像差均方根(RMS)值之比分别为1∶3.75∶9和1∶4.01∶9.01,光学系统所加热载和热像差之间呈线性关系;在实验热载荷作用下,系统最佳焦面的稳态时间小于450min,而热像差中一阶像散(标准Zernike Z4)的稳态时间小于48min,一阶四叶(标准Zernike Z11)的稳态时间小于9min,最佳焦面稳态时间远大于非轴对称成分的稳态时间。基于该三镜实验光学系统所获得的热像差特性能够为投影光刻物镜或其它精密光学系统的热像差控制与补偿提供有力支撑。 相似文献
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周连生 《中国新技术新产品》2012,(3):251
加工之后的零件其表面的状况直接影响着零件的整体质量。除了零件自身材料原因或者是设计上存在的缺陷之外,零件损坏大多是由表面开始的,零件的表面在长期运行过程中受到腐蚀以及磨损,导致零件的状态变差,性能下降,最终导致零件故障。可见机械加工中零件表面状态的好坏直接影响到整个零件的使用状态,良好的零件表面状态能够有效的延长零件的使用周期,保证零件运行中的安全可靠。这就要求机械加工过程中要十分重视零件的表面质量,从而有效的保证产品的质量。 相似文献
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胶粘剂广泛应用于光机结构中,其对光机结构的动力学特性有不可忽视的影响。本文采用有限元建模的方法对含胶粘剂的透镜镜组进行动力学特性分析。建立忽略胶层、节点耦合以及"粘合单元"连接胶合面三种有限元模型,并分别对两种胶粘剂粘接的透镜镜组进行模态分析。为了验证三种建模方法的有效性,对不同透镜镜组进行模态测试,获取一阶模态频率与振型。仿真计算与测试结果对比表明:忽略胶层影响的模型计算结果存在较大误差,节点耦合以及"粘合单元"连接胶合面所建立的模型的一阶模态频率与实验测试误差小于5%,振型也与测试结果一致。这表明节点耦合以及"粘合单元"连接胶合面两种有限元模型是有效的。进一步分析胶粘剂材料属性对透镜模态频率的影响,胶粘剂的杨氏模量对模态频率影响明显,泊松比与密度影响较小,对光机结构中胶粘剂的选用具有参考意义。 相似文献
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光机热集成分析是光机结构设计中的重要环节,对光学系统像质的预测与补偿有着重要的参考价值。针对小物镜系统,进行光机热集成分析,结果表明该系统产生的热像差较大,影响系统光学性能,其中温度升高导致折射率变化引入的系统热像差较大;结构热变形引入的系统热像差较小,可以忽略;镜片与支撑结构之间的导热、上下窗口的空气扰动、机械结构外表面的环境对流也会存在一定影响,但影响较小。由此可知系统热像差的主要影响因素是热载的大小,设计过程中减少透镜厚度及材料吸收率,降低系统热载,是减小光学系统热像差最为有效的途径。 相似文献
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我厂自72年生产高中压阀门以来,造型采用一箱多铸工艺,因此对型极的需要量越来越大。开始用木材及铝质型板。但木材来源比较困难,容易变形,影响造型质量。采用铝质型板虽然比较理想,但成本高,工作量大,时间长,生产周期长。针对上述情况,我厂利用菱苦土作型板,经过一年多来的生产实践证明,用菱苦土型板代替木材及铝质型板是完全可以的,现我厂已全部采用菱苦土型板。其制作过程如下: 相似文献
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通过到部分基层采掘区队采取座谈交流、现场调研等形式,对"不违章就不能生产"、"生产创水平就要违章"等的错误观点进行了剖析,深入探析了职工违章作业的诱因,并提出了要加强沟通,狠抓安全教育,树立正确地安全生产观,确保"三违"治理质量和效果,增强"三违"治理震慑力,确保企业安全生产。 相似文献
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