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氮气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
采用中频非平衡反应磁控溅射技术制备CrAlN薄膜,研究了氮气分压对CrAlN薄膜的沉积速率、薄膜成分、微观结构、机械性能和耐腐蚀性能的影响,并与CrN薄膜的性能进行了比较。研究表明,相比较CrN薄膜而言,CrAlN薄膜的硬度高,结构致密,耐腐蚀性好。随着氮气流量的升高,CrAlN薄膜沉积速率降低,Cr/Al比率升高;薄膜中CrN(200)衍射峰强度逐渐增强,六方结构的AlN相逐渐消失;薄膜的粗糙度由39 nm降低至10 nm,并且腐蚀电位升高,耐腐性增强。当氮气流量为53 mL/min时,CrAlN薄膜具有最佳的硬度和优良的耐腐蚀性能。 相似文献
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吉林油田采用CO_2与水双管线交替注入的方式驱替原油,由于CO_2具有萃取原油轻质组分的特性,使得重质组分的沥青质析出,黏附在近井油层表面,注水管线中停注期间产生的杂质随注入水进入地层,进一步加剧了堵塞。目前常规的解除近井地带堵塞的方法主要为重新射孔或压裂,作业复杂且费用昂贵,井控难度大,存在CO_2溢出的安全风险,因此,本文立足不动管柱及安全作业,重点研究了一种简易快捷且经济可行的近井油层解堵办法,并对CO_2试验区近井油层堵塞井进行了成功应用。 相似文献
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氦气流量对中频非平衡反应磁控溅射制备CrAlN薄膜性能的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
采用中频非平衡反应磁控溅射技术制备CrAlN薄膜,研究了氮气分压对CrAlN薄膜的沉积速率、薄膜成分、微观结构、机械性能和耐腐蚀性能的影响,并与CrN薄膜的性能进行了比较.研究表明,相比较CrN薄膜而言,CrAlN薄膜的硬度高,结构致密,耐腐蚀性好.随着氮气流量的升高,CrAlN薄膜沉积速率降低,Cr/Al比率升高;薄膜中CrN(200)衍射峰强度逐渐增强,六方结构的AlN相逐渐消失;薄膜的粗糙度由39 nm降低至10 nm,并且腐蚀电位升高,耐腐性增强.当氮气流量为53 mL/min时,CrAlN薄膜具有最佳的硬度和优良的耐腐蚀性能. 相似文献
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溅射电流对磁控溅射CrN_x薄膜结构与性能的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
采用非平衡磁控溅射技术在不锈钢以及单晶硅基体上制备了CrNx薄膜,并利用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、能量色散X射线能谱仪(EDS)和纳米压痕仪对薄膜的结构和性能进行了表征。结果表明,随着溅射电流的增大,薄膜中N/Cr比值减小,相组成由CrN(200)向Cr2N(111)转变;晶粒尺寸减小,柱状结构消失,结构变得致密;由于在大溅射电流下,易于形成Cr2N高硬度相,而且形成的薄膜晶粒细小、结构致密,所以硬度值随溅射电流单调升高,在21A时达到最高,为21GPa。 相似文献
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