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多年来,我一直致力于培养物理尖子生的研究,并努力探索培养物理尖子生的一些规律性的东西. 相似文献
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氮气对磁控溅射Co—Cr膜的晶体结构有显著影响。随着溅射气氛中氮气分压的升高。HCP相CoCr膜的c轴垂直取向度逐渐降低。氮气分压增加到4.0×10~(-3)Pa时,HCP相近似无规取向。氮气分压大于3.3×10~(-3)Pa时,出现FCC相。氮气分压大于1.0×10~(-2)Pa时,Co—Cr膜全部由FCC相组成。FCC相Co-Cr膜具有(200)面平行膜面的择优取向,而且取向度随氮气分压而升高。还发现氮气分压大于7.0×10~(-2)Pa时,Co-Cr膜中出现类似Cr_2N的氮化物。 相似文献
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本文介绍作者设计的一种可以连续调节镀膜成分的新型平面磁控溅射靶。该靶对所镀膜层成分的调节是基于一种新的设计思想。这就是将平面磁控靶的靶面跑道磁场分为左、右两个区段,并采用左、右两个电磁铁调节左、右区段的靶面磁场,使其相等或形成不同程度的强弱对比。当左、右区段分别安装A、B两种不同金属靶材料时,通过调节左、右电磁铁的励磁电流,即可获得不同成分的AB合金膜。再结合靶材的小块拼装,可以使合金膜成分覆盖A与B之间的整个范围。 相似文献
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