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对国内某些关键重点的特气现状进行了回顾和描述,指出了现阶段我国超纯特气存在的诸多问题,展望未来我国高纯气体的发展方向。 相似文献
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对我国半导体生产过程中几种主要特种气体的现状进行了回顾,指出了我国超纯电子气体国产化过程中存在的问题。 相似文献
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介绍了氟气的性质,提出了如何正确选择耐氟腐蚀和氧化的各种金属及非金属,介绍了氟气对人体的毒害特点及各种安全数据。 相似文献
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吸附——低温精馏法生产高纯四氟化碳的探讨 总被引:1,自引:1,他引:0
对吸附-低温精馏法生产高纯四氟化碳的可行性进行了控讨。用乙烯为致冷剂的制冷循环来满足低温精馏操作的要求。 相似文献
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瓶装三氟化硼的大规模生产 总被引:2,自引:0,他引:2
介绍了我国BF3科研、生产的历史与现状,综合介绍了BF3的各种生产工艺及其相关的物性。 相似文献
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