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采用常压化学气相沉积方法(atmospheric pressure chemical vapor deposition,APCVD)制备了氮氧化硅(Si—O—N)薄膜,研究了影响其沉积速率和生长模式的因素。在φ(NH_3):φ(SiH_4)=20:1,基板温度为650℃的条件下,当混合气体流量小于720ml/min时,薄膜的形成主要受气体扩散过程控制;当混合气体流量大于720 ml/min时,则主要受表面气相反应过程控制;混合气体流量为720 ml/min的条件下,氮氧化硅薄膜的沉积过程主要受基板表面的气相反应过程控制,薄膜沉积厚度与沉积时间成线性关系,反应速率为常数1640 nm/min,表面活化能为283 kJ/mol。通过SEM分析发现:氮氧化硅薄膜的形成方式符合三维成核模型,即反应初期Si,N,O等原子在基板表面相遇结合在一起形成原子团,一定数量的原子团构成临界核;反应中期临界核长大为岛状结构,岛不断长大,岛与岛之间相互接合形成通道网络结构;反应后期,原子不断填补网络空洞,最后成为连续薄膜。 相似文献
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我国既有建筑存量巨大,每年消耗大量能源,对不符合节能设计规范的既有建筑进行节能改造,是实现建筑节能目标最重要和最有效的措施之一。聚氨酯保温产品作为目前公认的最佳绝热材料,能以最小的用量达到节能设计要求,并且该类产品具有成熟的产品标准和技术规程,可提高改造工程的质量和安全性。 相似文献
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详细介绍了化学灌注胶浆的性能及用于混凝土裂缝修补的施工工艺,并对灌浆后混凝土的部分性能进行了研究.结果表明,采用化学灌浆对混凝土裂缝进行修补,可以弥补由裂缝带来的混凝土缺陷,使混凝土的结构安全得到了保障. 相似文献
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高效无机抗菌剂在乳胶漆中的应用 总被引:2,自引:0,他引:2
以传统涂料为依托,通过引入特种抗菌剂M制备出了高效抗菌的乳胶漆。抗菌剂M的最佳加入量为1.5%,灭菌率可以达到99.9%以上。 相似文献
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氮氧化硅薄膜制备方法的研究 总被引:2,自引:0,他引:2
氮氧化硅薄膜综合了SiO2膜和Si3N4膜的优点具有优秀的光电和学性能和稳定性,已经在光电领域获得了广泛地应用,此外在材料改性方面也有广阔的应用前景。本文综全评述了几种氮氧化硅薄膜的制备方法,比较了各自优缺点,并指出了今后制备方法的发展趋势。 相似文献
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