自适应抽指加权技术

在传统的抽指加权技术基础上,该文提出了一种自适应抽指加权技术。通过计算确定抽指加权的起始位置和加权数值,能对切趾换能器进行部分指条的抽指加权。研究结果表明,根据该文提出方法研制的一款声表面波滤波器,其频率为61.60 MHz,-1 dB相对带宽为3.7%,带外抑制大于45 dB,矩形度为1.4,器件的综合性能得到改善。     

基于硅基WLP封装的深孔刻蚀工艺研究

本工作针对硅基晶圆级封装(WLP,Wafer level package)的关键工艺技术——深孔刻蚀工艺进行了研究,通过对掩蔽层材料的选择和图形化工艺研究,制备出满足深孔刻蚀工艺要求的掩蔽层,并采用干法刻蚀设备进行深孔刻蚀和工艺优化,最终制作出工艺指标为:刻蚀深度185μm、深宽比9:1、陡直度90.08°、侧壁粗糙度小于64 nm、选择比46:1的硅深孔样品.该深孔刻蚀工艺可应用于薄膜体声波滤波器(FBAR,Film bulk acoustic resonator)晶圆级封装工艺的硅通孔互联(TSV,Through silicon via)技术中.     

声表面波器件光刻的衍射效应研究

声表面波(SAW)器件光刻过程中,制作的光刻胶线条宽度与掩模版不一致,特别是不同宽度的非均匀线条光刻后线宽变化值存在偏差。该文研究了接近式曝光衍射效应对线宽的影响,分析了掩模版上线条和缝隙宽度、衍射光强、掩模版与光刻胶间距等参数间的关系。结果表明,通过建立光学模型给出了计算曝光后不同线条宽度变化值的方法,采用程序编程可对掩模版数据中不同尺寸的线条和缝隙宽度进行补偿,实现SAW器件非均匀线条宽度的精确控制。     

客运交通枢纽工程消防设计探讨

交通枢纽中心的消防设计涉及交通、铁道、城市公共交通等多部门的各自规定,消防设计、审查标准不明确给设计、审查常常带来困惑。本文尝试采用科学、务实的办法来分析解决这一消防问题,为类似项目设计、审查、施工、验收、使用提供参考。     

4WD/WS电动车辆稳定性分层控制与轮胎力优化分配算法研究

针对车辆稳定性分析中的运算难以解耦和轮胎力优化分配问题,对四轮独立驱动/转向电动车辆进行研究,提出了一种分层集成控制算法。上层力矩控制层以理想线性车辆模型输出作为控制目标,采用了滑模控制算法决策出车辆稳定所需施加的总的纵向力、侧向力和横摆力矩;下层力矩分配层,设计了带权重目标函数,充分考虑了轮胎力,在确保每个车轮都工作在稳定区域的前提下,把4个车轮的转向角和驱动力矩作为8个独立的控制变量,从而把车体运动所需的总控制力转化为控制变量的具体值,作为集成控制器的输出;选用低附着路面,设计了Carsim/Simulink联合仿真实验。研究结果表明:该分层集成控制算法能够很好地跟随驾驶员意图,确保车辆稳定行驶。     

山东省平邑县归来庄金矿原生晕特征及深部远景

归来庄金矿床位于华北板块鲁西隆起区之内,是鲁西地区规模最大的金矿床。以归来庄金矿床地质特征为基础,从原生晕元素分带、地球化学参数、原生晕模型等多方面研究了归来庄金矿床主矿体原生晕的地球化学特征,以期为深部找矿提供理论指导。原生晕轴向分带特征明显:F-V-Mo-Se-Pb-Bi-Ag-Au-Sb-As-Tl-W,存在"反向分带"特征及前尾晕叠加特征;指示性元素衬度系数显示Au元素在不同标高的富集程度,反映了成矿作用具有多阶段、多期矿化叠加的特征;剥蚀参数变化向深部有上升趋势且剥蚀参数较大,指示矿体沿倾向方向深部有延伸或深部存在盲矿体。综合矿体原生晕轴向分带特征、地化参数特征以及构造特征,推测矿体深部具有较大找矿潜力。     

采用PSG牺牲层的空腔结构平坦化工艺

对基于微机电系统(MEMS)采用磷硅玻璃(PSG)牺牲层的空腔结构平坦化工艺进行了研究。探讨了抛光液体积流量、抛光压力、抛光液种类对牺牲层抛光速率、均匀性和硅槽台阶高度的影响,并对膜层表面质量进行分析和表征。结果表明：二氧化硅类抛光液体积流量控制在120 mL/min,此时抛光速率最高且有利于节约成本;优化了抛光压力工艺参数,当晶圆背压和保持环压力之比为0.76,即当晶圆背压为320 g/cm³,保持环压力为420 g/cm³时,可有效地改善牺牲层薄膜的均匀性;引入二氧化铈类抛光液,采用两步抛光工艺,即粗抛时采用二氧化硅类抛光液,精抛时采用二氧化铈类抛光液,可以得到较为理想的台阶高度差;最后将化学机械抛光(CMP)后牺牲层表面形貌进行表征,得到较为优异的牺牲层薄膜质量。     

T/R模块的激光封焊工艺研究

随着雷达技术的发展，微波模块正在向小型化、轻量化、高可靠性的方向发展。在实际生产过程中，T/R模块封焊盖板和壳体容易产生裂纹和气孔等缺陷，使产品的气密性不达标。文中对T/R模块常用的硅铝合金激光封焊工艺进行了试验研究，分析了峰值功率、脉宽、脉冲频率和离焦量对T/R模块焊接外观及气密性的影响，获得最优工艺参数。试验结果表明，工艺参数按照峰值功率为4.5 kW,脉宽为3.5 ms,焊接速度为2 mm/s,激光频率为15 Hz,离焦量为-1 mm时，能够获得较为优异的封焊质量，氦气漏气率优于5×10^-6 Pa·m³/s。最后总结了在生产过程中需要及时观察封焊质量来微调激光封焊的工艺参数，必要时更换新的激光保护镜片。试验结果对于指导激光封焊生产和工艺研究具有一定的意义。