MEMS悬浮结构深反应离子刻蚀保护方法对比研究

分别对基于硅玻键合与硅硅键合的MEMS加工工艺中悬浮结构深反应离子刻蚀保护方法进行对比研究,获得最佳结构刻蚀保护方法。基于硅玻键合工艺的最佳刻蚀保护方法：在结构层背面溅射金属作为保护层;基于硅硅键合工艺的最佳刻蚀保护方法：将结构刻通区域衬底硅暴露及结构层背面制作图形化的SiO2保护层相结合的方式保护。结构保护后,经长时间过刻蚀,结构依然完整无损。     

影响汽车调漆色差的因素

在汽车修补性涂装实施过程中,准确调漆是实现无色差修补的重要环节。从漆面氧化影响、色母沉降效应、比色效果影响因素等几个方面,详细的阐述了易引起调漆色差的影响因素,对于汽车漆面实际修补中的调漆操作具有积极的借鉴和指导意义。     

浅谈集中供热的调节

热水采暖系统主要由热水锅炉、热水循环泵、补水泵、管网及室内散热器组成。要满足采暖指标,达到采暖用户室内设计温度,除应对锅炉运行参数。燃烧工况进行控制和调整外,还应根据采暖季节。采暖时间等变化情况,对整个供热系统进行热力调节。着重对供热系统的经济运行进行阐述,分析了如何进行供热系统的调节以达到供热的最佳效果和节能降耗的双重目的。     

炼胶机动态功率跟踪节能控制系统研制

分析了胶鞋生产线炼胶机工况,介绍了电动机能耗分布和轻载降压节能原理,论述了炼胶机动态功率跟踪节能控制系统组成和控制策略等关键技术。     

汽车用6061-VIn铝合金的锻造工艺优化

采用不同的始锻温度、终锻温度和锻造速度进行了6061-VIn汽车用铝合金的锻造成形,并进行了磨损性能的测试和分析.结果 表明:随始锻温度、终锻温度和锻造速度的增加,铝合金试样的磨损体积先减小再增大,耐磨损性能先提升后下降.在480℃始锻温度、360℃终锻温度和15 mm/s锻造速度下试样的磨损体积最小,磨损性能最好.优...     

Mg-6Al-5Sn-0.3Ce镁合金的离心铸造工艺优化

采用不同的离心铸造工艺参数对Mg-6Al-5Sn-0.3Ce镁合金进行了铸造,研究了旋转速度和离心力保持时间对合金显微组织和腐蚀性能的影响.结果 表明:随旋转速度和离心力保持时间的增加,样品的平均晶粒尺寸先减小后增大,腐蚀电位先正移后负移,耐腐蚀性能先提升后下降.在1700 r/min旋转速度下保持时间5 min,合金...     

工业废弃物在道路工程中的利用研究

考虑到平顶山市的自身特点,其中煤炭和钢铁是其支柱产业,针对两类工业废杂如何在道路结构中综合利用,提出适应于该市的行业绿色能源的可持续化利用,系统形成这两类工业废弃物在不同外掺剂、不同剂量与级配的组合下,满足道路工程的材料性能和路用性能及长期稳定耐久的要求,并结合现场施工工艺,全面实现该地区废弃物的综合利用。