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1.
易贵华  尹洪禹 《真空》2001,(6):23-25
一种新型的MOCVD(Mettalic Organism CVD)装置,既金属有机化合物CVD沉积装置。该装置具有结构简单,在低温、低压条件下能够实现化学气相沉积反应。气路系统全部采用进口零部件,保证反应气体的纯度。等离子体在反应过程中起到辅助和掺杂的作用。经实验表明该装置能够较好地完成氧化锌薄膜的研究工作,也可为进一步的研究提供必要的条件。  相似文献   
2.
介绍了目前国产JP系列建筑玻璃真空镀膜生产线几种主要结构形式,其中着重列出根据沈阳市南宇真空技术有限公司生产的镀膜设备的设计、安装、调试经验。介绍了JP系列设备在生产中普遍存在的问题,并认真分析了其解决的途径和办法,以提高其镀膜玻璃产品的质量。  相似文献   
3.
利用箱载EFP现场节目制作系统转播自由式滑雪雪上技巧   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文对自由式滑雪雪上技巧比赛进行了详细介绍,利用6讯道高清箱载EFP现场节目制作系统完成比赛全程录制任务,通过对比分析多种方案来探讨转播雪上技巧项目时各机位如何布置。  相似文献   
4.
小型制冷机低温泵(以下简称低温泵)是七十年代末发展起来的一种新型抽气设备,目前国外已大量生产并在半导体微电子技术、新型材料科学、光学和装饰类镀膜以及空间模拟和环境试验装置等方面得到了广泛的应用。本文简要介绍了这种泵的工作原理、典型结构、操作方法及主要参数和尺寸的设计计算并给出了抽气速率20000升/秒低温泵的计算实例、技术特性及经济效果,实践结果表明,同获得相同抽气特性的油扩散泵相比,一年可节约电力 30多万度,水 15000米~3,最后对发展低温泵提出一些看法。  相似文献   
5.
低温泵降温时间的计算   总被引:1,自引:0,他引:1  
本文继“低温泵降温时间的计算和10000升/秒低温泵的抽气特性”[1]的一文后,通过数学处理,用梯形公式进行积分,最后给出降温时间的计算公式。简化了计算方法非易于掌握,可以作为低温泵工程设计的参考。  相似文献   
6.
超高真空射频磁控溅射镀膜机(双室三靶)及其应用   总被引:1,自引:1,他引:0  
尹洪禹 《真空》2000,15(3):23-28
本文介绍了 JGP- 4 2 0型超高真空射频磁控溅射镀膜机的设计思想和研制过程 ,并讨论了在该机上进行硅片上沉积 Pt和 Si O2 膜层的实验情况。此文仅为此类机器及其工艺的发展提供一定的借鉴  相似文献   
7.
介绍一种新型真空回火炉的结构设计与特点,并简介其应用情况。  相似文献   
8.
一、概述 众所周知,油扩散泵由于结构简单,操作及维护方便,造价和运转费用较低,所以广为国内外从事真空技术方面工作的科技人员所采用。它是获得高真空不可缺少的主抽真空系之一。近年来油扩散泵除工作液在性能上有显著提高外,泵的结构没有更大的突破性改进,仅有些小改小革。在性能方面提高幅度不大,但从抽速系数来看潜力还是很大的。国外有些泵性能较好,但从结构来看特殊之处并不明显,我们仍在讨论和分析其性能提高的原因是否是由于测量方法的不同,还是由于工作液的改进所引起的,至今尚无定论。国内一些有代表性的油扩散泵产品,一般来说,抽…  相似文献   
9.
尹洪禹  孙旭 《真空》1991,(1):1-8
本文介绍了第一套国产连续式平板玻璃真空镀膜设备──JP-1000A型真空镀膜建筑玻璃生产线。阐明了设备工艺性能要求,并列出JP-1000A型设备的技术指标。文中给出典型工艺参数和产品测试结果。试生产表明JP-1000A型机功能齐全,满足生产需要等,其产品与进口设备产品相媲美。  相似文献   
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