角度测量型原子间力显微镜

本作采用光学式角度传感器,制作了探针驱动式角度测量型原子间力显微镜（ＡＦＭ）,它区别于历来的原子力显微镜信号的位移测量方法,克服了以往测量方法对被测的尺寸、重量衣扫描速度的限制。