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迈克尔逊干涉型加速度地震检波器集成芯片 总被引:7,自引:3,他引:4
提出了一种新型的迈克尔逊干涉型混合集成光学加速度地震检波器。以尺寸为38mm×6mm×2mm的X切Y传LiNbO3晶体为基底,详细分析并设计了迈克尔逊干涉芯片的双Y分支波导、相位调制器和偏振器。对成功制作的迈克尔逊干涉芯片进行了通光测试,并对检测器进行了测试。结果表明,检波器及芯片性能良好,振动与检波器输出信号吻合良好。该检波器系统的主要设计参数为:自然频率3549Hz,相位检测灵敏度ΔΦ/a为1.1×10-2rad/m/s2,工作频带0~1065Hz。 相似文献
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光电集成加速度地震检波器中声光波导相位调制器的设计与实验 总被引:1,自引:0,他引:1
提出了一种新型的光电集成加速度地震检波器,这是一种全新的微光机电系统(MOEMS),为实现硅基底上的光波导M-Z干涉仪的相位调制,采用了声光相位调制的方法,该相位调制器利用叉指换能器(IDT)激发出声表面波(SAW)实现对光波导的相位调制,在对光波导声光相位调制机理深入研究的基础上,设计并制作了器件,实验结果与理论相一致。 相似文献
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根据多模干涉(MMI)技术和波分复用原理,设计并研制出应用于波分复用系统的1×4钛扩散铌酸锂(Ti:LiNbO3/LiNbO3)多模干涉耦合器.对MMI耦合器进行了理论研究和设计计算,完成了结构参数的优化设计、特性参数(损耗,分光比)的计算和实验验证,并与常规的M-Z型耦合器进行了对比.设计出的1×4MMI耦合器的长度为6 mm,损耗为1.4 dB,而使用三个M-Z型耦合器构成1×4耦合器,总长度为60 mm,总损耗为1.5 dB;因此,采用MMI耦合器,具有结构紧凑、损耗低、工艺简单、容差性好等一系列独特的优点. 相似文献