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采用全息光学元件的非接触光学测头 总被引:4,自引:0,他引:4
本文介绍一种采用全息光学元件构成的光触针式非接触光学测头,着重探讨了用电子束曝光法制作全息光学元件的一些技术问题,给出了部分计算机模拟及实验结果。 相似文献
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本文对新发展的光学非接触瞄准测量法以及在齿轮测量中的应用技术进行了探讨。着重介绍了离焦检测法的几种原理及其分析,给出了一些实验结果。 相似文献
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高精度激光三角法位移测量被测表面倾斜影响研究 总被引:12,自引:0,他引:12
在高精度激光三角法位移测量中,被测表面的倾斜对测量准确度有很大影响。本介绍利用光散射的基本原理研究光电接收器接收面上象光斑的光能质心偏移与倾斜角及位移量之间的定量关系,给出了计算机模拟及实验结果,探讨了减少或消除被测表面倾斜影响的方法。 相似文献
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<正> 一、绪言对于莫尔条纹的电子学细分、锁相技术的应用大约开始于六十年代初期。英国Goulder Mikron公司的齿轮单面啮合检查仪、齿距仪。苏联的БB—5058、БB—5059和БB—3244齿轮测量仪器等产品上均有锁相倍频技术的应用。我国成都工具研究所研制的单测头式齿轮整体误差测量仪及天津大学与天津第一机床厂研制的GYQ—80型光栅式齿轮误差检查仪,对光栅莫尔条纹的细分,也采用了锁相倍频技术。锁相倍频细分方法具有细分数高、对光栅 相似文献
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