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1.
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制──溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm~2时溅射速率约为800nm/min,如果继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cos~nθ分布的前提下,发现当n=3.3时,实验数据和理论数据符合得较好。  相似文献   
2.
三相电力变压器的过流及速断保护接线方式主要有三种:三相三继电器完全星形;两相两继电器不完全星型;两相一继电器的两相电流差接线。大、中型水厂的水泵机组配用的驱动电机一般为6kV或10kV电压等级,其主变压器高压侧的电压等级为35kV或10kV,低压侧的电压等级为6kV或10kV,因考虑电力系统的接地要求及抑制谐波的需要,这一电压等级的主变压器的绕组联结组标号常常设置为Ydn11。我公司的万福源水厂和瓜洲源水厂的主变压器电压等级均为35/6kV,三个清水厂的主变压器电压等级分别为10/6kV和35/6kV,主变压器的绕组联结组标号为Ydn11(即Y/△-11)。  相似文献   
3.
本文简要地介绍了国产化日用瓷釉烧中、高温辊道窑技术发展以及高温一次烧成( 氧化焰、还原焰均可) 日用瓷辊道窑的基本情况。  相似文献   
4.
余章淦  龙应春 《中国氯碱》1997,(8):26-27,15
本文简要叙述了我厂铁炉改三合一炉具体情况,同时对铁合成炉盐酸系统及三合一盐酸系统状况进行了比较,希望对同行业在进行此类改造时起参考作用。  相似文献   
5.
ZnO:Al透明导电薄膜的研制   总被引:6,自引:1,他引:6  
介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明并研究了其特性,阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景,并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点。介绍了ZnO:Al薄膜的制备情况:靶的制备及薄膜的制备过程,测量了薄膜的光电特性,包括透射比,折射率,消光系数,方块电阻,电阻率,载流子浓度和迁移率等参数,并分析了各种实验条件对薄膜性能的影响。  相似文献   
6.
7.
高效率平面磁控溅射器的研制   总被引:1,自引:0,他引:1  
介绍一种新型磁控溅射装置。它采用两块极性相对的环状磁铁的设计方法,通过扩大靶表面的等离子放电区域面积,使传统磁控溅射枪使用中经常受到的两个限制-溅射速率与靶的利用率得到了较大的改善。实验中铜靶在溅射功率密度为11W/cm^3时溅射速率约为800nm/min,如何继续提高功率则可获得更高的速率。而靶的利用率可达64%左右。另外,在认为出射粒子符合cosθ分布的前提下,发现当α=3.3时,实验数据和理  相似文献   
8.
ZnO:Al透明导电薄膜的研制   总被引:2,自引:0,他引:2  
介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明导电薄膜并研究了其特性,阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景,并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点。介绍了ZnO∶Al薄膜的制备情况:靶的制备及薄膜的制备过程。测量了薄膜的光电特性,包括透射比、折射率、消光系数、方块电阻、电阻率、载流子浓度和迁移率等参数,并分析了各种实验条件对薄膜性能的影响。  相似文献   
9.
文章从教育的本质属性出发论述了非全日制研究生教育的内涵,阐述了积极发展非全日制研究生教育的必要性和可行性。  相似文献   
10.
文章通过培养工程硕士研究生的实践,分析总结出工程硕士培养模式具有高层次、应用性、实践性等基本特征,并提出了强化工程硕士培养的规范管理和过程管理的几点建议。  相似文献   
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