氮气氛中高温热处理硅片表面的直接氮化

研究了直拉硅单晶片在氮气氛下热处理时的表面氮化,利用了XPS(X射线光电子谱)、SEM(扫描电子显微镜)、金相显微镜、XRD(X射线衍射仪)等手段研究了在高纯氮和非高纯氮保护条件下不同温度热处理后的样品表面,结果发现只有用高纯氮保护和温度高于1100℃的条件下,氮气才能与硅表面发生反应,生成氮化硅(Si3N4)薄膜,否则氮保护中微量的氧气会和硅表面发生反应,生成二氧化硅(SiO2)薄膜.     

MlNi_4Co_(0.6)Al_(0.4)储H_2合金表面吸H_2的TDS研究

用热脱附谱 (TDS)对不同表面处理的富La混合储H2 合金MlNi4 Co0 6Al0 4 粉末样品进行H2 气吸附和脱附特性的比较和研究。未经表面处理的粉末样品 ,只测到一个H2 脱附峰 (α峰 ) ,脱附温度在 40 0K左右 ;经 6molKOH溶液 ,在 80℃下处理 6h的MlNi4 Co0 6Al0 4 粉末样品 ,有 2个H2 热脱附峰 (β峰和γ峰 ) ,脱附温度分别在 5 40和 6 30K处 ;而用 6molKOH 0 0 2molKBH4 溶液处理后 ,则有 3个H2 热脱附峰 (α峰 ,β峰和γ峰 ) ,脱附温度分别在 40 0 ,5 30和 6 40K处。TDS研究表明 ,热碱加还原的处理使材料表面对H2 气吸附的活性和容量提高 ,并使各个吸附态的扩散和转变更加容易。     

MlNi4Co0.6Al0.4储H2合金表面吸H2的TDS研究

用热脱附谱(TDS)对不同表面处理的富La混合储H2合金MlNi4Co0.6Al0.4粉末样品进行H2气吸附和脱附特性的比较和研究。未经表面处理的粉末样品,只测到一个H2脱附峰(α峰),脱附温度在400K左右;经6molKOH溶液,在80℃下处理6h的MlNi4Co0.6Al0.4粉末样品,有2个H2热脱附峰(β峰和γ峰),脱附温度分别在540和630K处;而用6molKOH+0.02molKBH4溶液处理后,则有3个H2热脱附峰(α峰,β峰和γ峰),脱附温度分别在400,530和640K处。TDS研究表明,热碱加还原的处理使材料表面对H2气吸附的活性和容量提高,并使各个吸附态的扩散和转变更加容易。     

氮气氛中高温热处理硅片表面的直接氮化

研究了直拉硅单晶片在氮气氛下热处理时的表面氮化,利用了XPS(X射线光电子谱)、SEM(扫描电子显微镜)、金相显微镜、XRD(X射线衍射仪)等手段研究了在高纯氮和非高纯氮保护条件下不同温度热处理后的样品表面,结果发现只有用高纯氮保护和温度高于110 0℃的条件下,氮气才能与硅表面发生反应,生成氮化硅(Si3 N4 )薄膜,否则氮保护中微量的氧气会和硅表面发生反应,生成二氧化硅(SiO2 )薄膜.     

有机半导体二萘嵌苯在Ru(0001)表面上有序结构的电子态

在Ru(0001)表面上,四个与有机半导体二萘嵌苯(Perylene)分子轨道相关的谱峰分别位于费米能级以下4.5、6.3、7.2、9.9 eV处.在界面处它们的结合能相对较低,反映了界面处有机吸附层与衬底之间的相互作用,衬底中的电子部分地转移到了有机分子的一个或几个轨道上了.低能电子衍射的结果表明:当沉积厚度接近一个单层时,Perylene分子在Ru(0001)表面上形成一种类似(4×4)的有序结构.角分辨紫外光电子能谱的结果表明:Perylene分子平面平行于Ru(0001)表面,而分子的长轴沿[1000]方向取向.随着衬底温度的上升,有机半导体材料在Ru(0001)表面以脱附的形式逐渐减少,在150 ℃以下没有分解发生.     

用XPS和AFM等方法研究氮化钛薄膜的物理化学特性

采用反应非平衡磁控溅射方法制备了氮化钛(TiN)薄膜,沉积时的衬底偏压的范围从0V到-500 V.实验结果表明:TiN薄膜的物理特性和力学性能随衬底偏压变化,最佳的薄膜硬度与弹性模量在偏压为-100 V时得到.AFM的测量结果显示薄膜的表面形貌和粗糙度随衬底偏压变化有一个非线性的变化趋势,同样的趋势也出现在Ti2p和N1s的芯态能谱上.特定谱峰的强度和位置的变化预示着偏压引起的薄膜成分和化学态的变化,XPS的结果表明:适当的偏压有助于TiN的成键,稳定的化学结构防止了表面的氧化和扩散,抑制了杂质和缺陷的形成,良好的机械特性归于表面形貌的改善.     

固液两相流离心泵叶轮磨损规律研究进展

叶轮是离心泵的核心部件之一,也是最易磨损的零部件。本文在详细分析国内外两相流离心泵叶轮磨损规律方面的研究成果的基础上,探讨了叶片的磨损的影响因素及产生机理,为叶轮的优化设计提供参考意义。     

Ag(110)表面并四苯薄膜生长光电子谱研究

利用光电子能谱研究了有机半导体并四苯(tetracene)与金属Ag(110)界面的相互作用特性和电子性质,UPS测量给出tetracene的价带结构,其价带顶(HOS)位于费密能级以下约2.6 eV处.XPS测量显示Ag 3d和C 1s谱峰几乎没有位移,表明tetranece与衬底Ag之间相互作用弱.随着tetracene在Ag(110)表面的沉积,功函数在初始阶段快速减小,继续沉积tetracene其功函数回升并达到饱和.tetracene沉积初始阶段的功函数减小归结于有机分子在表面的极化,而随后增加的起因则是有机分子间的退极化.     

PbTe薄膜表面氧化机理研究

用分子束外延方法在BaF2（111）衬底上生长了PbTe单晶薄膜,原子力显微镜（AFM）的表面形貌表征显示PbTe表面具有单原子层的平整性,并观察到由螺位错形成的螺旋台阶面。高分辨X射线衍射（HRXRD）测量得到PbTe（111）衍射峰的线宽〈100afc sec,表明薄膜具有优良的晶体结构特性。然后将样品暴露于大气环境中3个月后,用X射线光电子谱（XPS）分析了PbTe表面的氧化机理,发现PbTe表面氧化形成了PbO和TeO2,接着将样品在超高真空中加温,同时测量样品表面的Pb、Te、O元素价态、束缚能、含量等参量随温度的变化,发现在温度达到475℃时PbTe样品表面的氧化层已除去,获得了较干净的PbTe表面,为PbTe光电器件工艺提供了实验依据。     

固液两相离心泵内颗粒流动特性的研究进展

渣浆泵和泥沙泵等输送固液两相混合物的水泵是泵类中的耗能大户,在工农业各部门中应用广泛。固液两相离心泵的性能和效率受控于泵内的两相流动规律,理解泵内的两相流动规律,对于合理设计和延长泵的使用寿命有重要意义。本文重点阐述了固液两相流泵的研究现状及其进展。在内部流动特性方面介绍了固体颗拉在叶轮和蜗壳内部的流动规律,研究了泵内部过流部件的磨损规律及抗磨措施。并对低比转速固液两相流离心泵研究热点和发展趋势进行了讨论。