(Ti,Al, Cr)N膜系的研究进展

总结了(Ti,Al,Cr)N膜系的沉积方法并讨论了化学成分、N2流量以及基底偏压等工艺参数对薄膜产生的影响,针对(Ti,Al,Cr)N膜系的相组成与膜层成分、抗氧化性、耐腐蚀性、显微硬度、抗摩擦磨损性能以及膜基结合力等方面进行了详细阐述.在此基础上,对(Ti,Al,Cr)N膜系的未来发展进行了展望,以期为多组元氮化物硬...     

氮化物硬质膜退除技术的研究进展

氮化物硬质摸退除技术是镀膜刀具修复中一项不可缺少的技术,对于延长刀具寿命具有重要意义.介绍了多种氮化物硬质膜退除技术的退除原理、退除方法、退除效果,应用范围和局限性,综述了氮化物硬质膜退除技术的研究进展,同时对氮化物硬质膜退除技术的发展进行了展望.