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在半导体工业遇到的那样化学环境中,确定包括泵、辅助装置、油和操作程序等整个抽气系统是很重要的。本文探讨了这种泵结构的一些特点,当抽除腐蚀性物质时这些特点对于确保可靠性有重要意义。此外,为了在腐蚀性环境下增大泵的效能,还借助于在控制条件下其效能的特定数据,探讨了所设计的辅助装置。特别注意到油的种类和过滤方法,因为在多数场合,在腐蚀性大气气氛下引起工作困难的就是油裂解和污染的结果。 I前言 许多工业要求真空系统能够克服腐蚀性蒸汽,其中以半导体工业的要求最为迫切。这篇文章基本上涉及到用于半导体晶片加工方面的油封… 相似文献
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最近,机械工业部沈阳真空技术研究所承担的部管科研项目—彩虹薄膜工艺,刀具镀膜和耐腐蚀泵三项科技成果通过了部级鉴定。 彩虹薄膜工艺是一项难度较大、技术较高的开发性课题。经过三年的艰苦努力,解决了主要技术关键,在试验室条件下制出150 × 150毫米的彩虹薄膜样品,其光栅条纹数为每毫米600条,深度为0.3～0.6μ(美国可板公司为每毫米560条,深度为0.lμ)。观察彩虹薄膜样品,彩虹效果优异。圆光栅制造技术是国内首创,衍射效果已达到美国八十年代水平。 DKYLZ一1000型刀具镀膜机是在一九八四年刀具镀膜工艺鉴定的基础上为满足生产需要而… 相似文献
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本文探讨了在10-3毫巴(1微米)～大气压的真空范围内和指定的温度下以最小的污染对要求高的气体──高纯、稀有或危险性气体的抽除。对于在此范围产生的问题,其合理的解决手段就是一种变容真空泵──专用的罗茨真空泵,这种系工作室不需要润滑,转子与壳体之间无机械接触,但由于冷却过程没有外部介质,因此能以高的压缩比进行抽气。本文还论述了从离心铀分离装置中抽除UF。的专门设计的多级罗茨真空泵。这种泵对氮的最大抽速为220米3/小时,并能从低于10毫巴直接压缩到大气压。 一、前言 在真空范围内抽除要求的气体,日益需要经济的方法。这些问… 相似文献
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机械工业部沈阳真空技术研究所为沈阳市玻璃计器厂研制的太阳能集热管磁控溅射镀膜机,经过一年的工业运行,性能良好。最近通过了技术鉴定。 DJT—800型太阳能集热管磁控溅射镀膜机是生产太阳能集热管的专用设备,适用于镀制太阳能集热管选择性吸收表面的光学薄膜。 太阳能集热管的热效率,主要取决于选择性吸收膜层的质量。目前,我国均采用化学电镀法镀制膜层,这种方法存在着工艺不够稳定,废品率高,膜层质量差,原材料消耗大,成本高,污染环境,危害工人健康等缺点。而应用磁控溅射镀膜机镀制太阳能集热管选择性吸收膜层,彻底实现了工艺革新,完… 相似文献
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