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本文利用扫描电声显微镜成像技术对铁电半导体陶瓷材料进行了无损成像观察和分析。通过对不同条件下获得的电声像的讨论,得出在这种材料的电声成像中,热波耦合机制和压电耦合机制对电声信号的产生均有着贡献,但热波耦合机制占主导地位。另外扫描电声显微镜在对材料的亚表面缺陷无损观察方面有着其它观察手段所无法比拟的优点。 相似文献
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扫描电声显微镜(SEAM)是融现代电子光学技术、电声技术、压电传感技术、弱信号检测和脉冲图像处理以及计算机技术为一体的一种新型无损分析和显微成像工具。其成像机理是基于材料的微观热弹性能或者电学性能的变化,获取目前其他手段无法得到的信息。它可以原位(in situ)同时观察试样的二次电子像和电声像(SEAM),兼有声学显微术非破坏性内部成像和电子显微术高分辨率快速成像的特点。本文重点阐述扫描电声显微镜的工作原理、结构和组成、电声显微成像的特点,以及电声成像的基本理论和影响分辨率的主要因素。并显示了扫描电声显微镜在观察功能晶体和陶瓷的电畴结构、金属材料的应力分布、半导体材料的缺陷和位错、MEMS器件的内部信息以及超导陶瓷的相变特性等方面的实际应用。为了和电声成像的实验结果进行比较,本文也介绍了在扫描探针显微镜基础上建立起来的扫描探针声学成像技术在电光陶瓷上的实际应用。 相似文献
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简述了近年来新发展的一种显微成象仪器-扫描电声显微镜,并着重了在信号检测过程中,通过在仿真工作条件下采用的一系列措施,优化传感器参数选择;加强信号耦合传输,避免引入干扰;运用计算机技术,增强数据处理能力等,因而改善了信号检测的信噪比,提高了电声成象的质量。 相似文献
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