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衬底温度对ZnO:N薄膜结构和光学性能的影响 总被引：1，自引：1，他引：0
利用超声喷雾热解方法,以不同的沉积温度(450～510℃)在石英衬底上制备出具备较高光学质量的氮掺氧化锌(ZnO:N)薄膜。通过X射线衍射(XRD)谱研究了薄膜的结构,用扫描电子显微镜(SEM)研究了薄膜的表面形貌,用紫外可见(UV)分光光度计、光致发光(PL)谱对薄膜的光学特性进行了测试分析。结果表明,所制备薄膜在可见波段具有较高透过率,并且沉积温度对ZnO:N薄膜的透过性能有很大影响。在衬底温度为500℃时得到的ZnO:N薄膜为六角纤锌矿结构,结晶质量最好、光透过率最高。PL谱的测试结果显示,在该条件制备的ZnO:N薄膜只在389.4nm处有一个较强的近带边紫外发光峰。 相似文献
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戴世飞 《中国新技术新产品》2013,(2):89-90
根据工程特点,本着安全经济的原则,在深基坑支护中综合运用土钉墙+护坡桩+预应力锚杆等多种支护技术,取得了较好的支护效果,详细介绍了各支护方式的施工工艺及施工要点。 相似文献
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