陶瓷材料在固—液侵蚀中的表面微波纹形成机理

研究了陶瓷材料表面在固－液冲蚀条件下形成微波纺的现象以及相应的材料表面受损机理。为了检测表面微波纹的发展及验证新的理论模型，对四种工程陶瓷材料Ａｌ２Ｏ３、ＳｉＣ、Ｙ２Ｏ３稳定的ＺｒＯ２和Ｓｉａｌｏｎ在自制的固－液冲蚀装置上作了侵蚀测试。这些材料的受损机制包括脆性碎裂及一定程度的塑性形变。除了ＳｉＣ材料外，均发现一定程度的表面微波纹。光学金相与扫描电镜研究表明，影响材料受损机制及微波纹形成的参数包括     

Y_2O_3稳定的 ZrO_2薄膜材料的制备和电导性质的研究

以金属有机螯合物为源物质,采用低压等离子体化学气相淀积工艺(PCVD),成功地生长了 Y_2O_3稳定的 ZrO_3氧离子导体薄膜,对薄膜的化学组成、结构以及电导性能进行了研究。通过实验测量了等离子体条件下不同淀积参数对淀积速率的影响,探讨了各种参数对淀积过程的控制作用,进而为改进化学气相淀积工艺提供依据。     

等离子体化学气相淀积法(PCVD)生长氧传感器薄膜材料

稳定化 ZrO_2是目前已实用化的氧离子导体材料。由于工业过程自化的要求,传性感器的小型化、集成化、智能化已成为当前发展的趋势,各种薄膜型氧传感器元件的研制开始活跃起来~([1])。在众多的薄膜工艺中,PCVD 法优点突出,控制方便,尤其低压等离子体在低温所具有的高内能和活化能(其电子温度10~4～10~5K),为获得许多新型