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阐述了信息系统综合集成的理论基础和方法研究的必要性和重要性,支撑信息系统综合集成的若干理论基础和方法,涉及信息系统综合集成的相关问题,提出了加强理论基础和方法研究工作的建议. 相似文献
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一、序言 当油扩散泵的前级压强测量使电离规工作,极限压强测量用的BA规读数就增大,这种现象营田荣治,金铉佑①曾经碰到过,说他的原因是由于前级压强侧电离规的裂化气体起反扩散引起的。有一位作者在进行希科曼(Hickman)泵的极限压强特性的测量②时也观察到了同样的现象,根据实验条件发现这种现象有极端扩大的趋势。扩散泵一级的系统,其前级压强一般没有用电离规测量的,但是最近在超高真空排气系统惯用的串联扩散泵系统中,似乎主泵的前级压强有时用电离规测量的。在这种场合,为了用BA规正确地测量系统的极限压强,需要弄清各种因素对引起这… 相似文献
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介绍了日本广岛制作所用于食品包装膜的连续式真空镀膜机的研制情况。其中包括样机的研制、抽气系统、真空密封、传动装置的一些技术细节。还介绍了可以用于批量生产的连续式真空镀膜机的结构及操作步骤和经济效益。从蒸镀薄膜的性能实测结果看来,这类连续式真空镀膜机进入市场竞争已经具备了条件。 相似文献
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1.前言 近十年来,就阅读本刊几篇文章的读者来说,会清楚地看到,用溅射制造薄膜的方法,是从应用于制造粗质混合集成电路(1C)开始的,并作为制造电子器件的周边技术而逐渐地得到广泛使用(1-5)。作为制作薄膜的溅射装置来说,有几种方法是大家熟悉的,但无论是在日本还是在世界上,除了特殊的装置之外,目前在广泛应用的是平板对向型RF(高频)2极溅射方法。这种溅射方法与其他制造薄膜的方法相比较,尽管有几种突出的优点,但薄膜淀积速率特别低的这一点,从工业生产的角度来看,在使用上将会受到较大的限制。然而到目前试制成功了生产能力比过去更高的… 相似文献
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为了适应新技术革命和高技术发展的需要,日文“真空”杂志从1987年第8期开始刊登真空技术讲座.这个讲座着重向读者介绍在一些专门领域内真空技术在近十年内所取得的进展、与传统的只介绍基本知识的真空技术讲座截然不同.本刊从本期起将陆续刊登出这个讲座的各讲的译文.刊登时本刊略有删节. 相似文献
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1.序论 在极高真空(XHV)领域,随着对表面研究的热烈展开,也迫切地提出了在这个领域中的压强测量。尽管如此,最近对这方面的研究为数不多(1-4)。 在这个领域中作者为了尽量控制规定测量限界的软X线效应的影响,一般是以改良正在普及的B-A规结构的方法为中心开展研究的(5-6)。但是,为了避免软X线对离子收集极的入射,在用这种方法改良的电离规中其结构往往是很复杂的。为此作者们尽量简化结构,并按几何学原理进行了能完全屏蔽软X线的新式电离规的研究和试制。 在这种电离规中,在收集极与阳极(电子收集极)之间经设置屏蔽电极,就能消除由阳极… 相似文献
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抽速到1升/秒的小型油封机械泵用油雾收集器,以往只是将收集到的油积在油盘中。本文介绍的油雾收集器则能自动地回收到泵的油箱中,并具有许多优点(这种油雾收集器登载在专利№.819691上)。 1.装置的概要 机械泵在转动时,不管是在大型泵还是小型泵,在进口压力从大气到数托范围内,必然排出油雾(排出的油粒子从雾状到滴状,形状大小不一,在这里我们将在泵的排气中混杂的油粒子统称为油雾),防止这种油雾引起空气污染,有下述两种方法。 (1)接上管道,将油雾全部排到室外。 (2)在泵的排气口装上分离油雾的油雾收集器。 第(1)种方法有如下缺点:有需配… 相似文献