MOCVD热力学分析软件的开发

报导了最新开发的ＭＯＣＶＤ热力学分析软件－ＭＯＣＶＤＴＡ，它是一个采用目前比较 ＶＣＳ算法对ＭＯＣＶＤ的稳态系统进行单参数及双参数分析的软件。介绍了其功能，特点，使用方法以及适用条件，并且以Ａｓ－Ｈ系统及Ｇａ－Ａｓ－Ｃ－Ｈ系统为例进行了模拟，得到了很好的模拟结果。