带压电阀的压强自动控制器

压强自动控制器是实现真空工艺自动化的重要装置。凡要求实现压强恒定、手动或自动程序控制压强变化的场合,如真空钎焊、离子镀、溅射镀、化学淀积等工艺中都可使用。压电陶瓷经高电场极化具有一定的压电性能。把压电陶瓷用于微调充气阀门上,是利用此材料的逆压电效应而做成阀门。在一块弹性薄片的两面分别粘上一块压电陶瓷片。并且在其中一块压电陶瓷片的中心再粘上一块氟橡胶。这样就构成了一个阀片。当在压电陶瓷两极加上0～100伏直流电压时,阀片产生变形而凸起,离开阀座,就改变了流经阀口的气体通量。气体通量的大小与压电陶瓷两极施加的直流电压成正比。     

JK系列高真空抽气机组抽速不稳的解决办法

一、JK系列高真空抽气机组的特性一般它是由2X系列旋片真空泵作前级泵,用K系列高真空油扩散泵作主泵,并配有高真空蝶阀和低真空阀等。从这两种泵的抽气特性可看到,油扩散泵的工作压强为l0~(-4)～l0~(-6)托,最佳工作压强在5×10~(-4)～10~(-6)托;旋片真空泵的工作压强在760～10~(-2)托,最佳工作压强在760～10~(-1)托。以JK-150真空机组为例,它配的前级泵为2X-4,油扩散泵为K-150。分别绘出它们的抽气特性曲线。从特性曲线看到,JK系列真空机组