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InSb阵列探测芯片的感应耦合等离子反应刻蚀研究 总被引:1,自引:1,他引:0
利用感应耦合等离子(ICP)反应刻蚀(RIE)进行了InSb阵列芯片台面刻蚀,并利用轮廓仪、SEM及XRD对台面形貌以及刻蚀损伤进行分析。采用优化的ICP刻蚀参数,实现的刻蚀速率为70~90 nm/min,刻蚀台阶垂直度~80°,刻蚀表面平整光滑、损伤低。与常规的湿法腐蚀相比,明显降低了侧向钻蚀。台面采用此反应刻蚀工艺,制备了具有理想I-V特性的320×256 InSb探测阵列芯片,在-500 mV到零偏压范围内,光敏元(面积23 μm×23 μm)的动态阻抗(Rd)大于100 MΩ。 相似文献
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利用水溶液聚合法制备聚丙烯酸(PAA)水凝胶,通过傅立叶变换红外分析(FT-IR)和扫描电镜(SEM)表征其结构特征,在20~40℃范围内,考察PAA高吸水聚合物对FeCl3的吸附行为.结果表明:PAA对FeCl3具有很好的吸附效果,室温,PAA对2 g/L FeCl3溶液的吸附2 min后即已基本达到平衡.PAA对FeCl3的室温吸附行为符合Freundlish关系,其平衡吸附量Γe=0.03ρ1.82g/g;吸附过程为一级反应,ln(ρ0/ρ)与吸附时间t呈良好的线性关系;PAA吸附FeCl3的反应速率常数为k=2.45×10-6exp(-Ea/RT),其吸附过程的表观活化能Ea=-22.586 kJ/mol. 相似文献
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罗氟司特是第一个被批准上市的磷酸二酯酶4(PDE4)抑制剂,是首个用于治疗慢性阻塞性肺疾病(COPD)的药物.综述了专利文献报道的罗氟司特合成方法,并对合成路线进行梳理、总结,为进一步优化其合成工艺提供参考. 相似文献
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目的:观察低频脉冲电磁场(PEMFs)治疗骨质疏松症慢性疼痛的临床疗效。方法:20例志愿受试者均为绝经女性,具有明显骨质疏松症疼痛,4例伴有OP脆性骨折,骨密度降低程度符合WHO的OP诊断标准。采用低频脉冲电磁场,功率≤2000VA;脉冲频率1Hz至100Hz可调;磁感应强度1至50Hz区间:0至100Gs可调,51Hz至100Hz区间:0至75Gs可调。单独采用低频脉冲电磁场治疗,停用其他治疗。将治疗环移至病变部位或疼痛部位,每次治疗30至40分钟,每日一次,20至30次为一疗程。疗程结束后,进行自身前后配对T检验,对VAS、骨密度结果进行统计学处理,判断治疗效果。结果:治疗前后VAS均数为5.85、3.25,标准差1.53、0.79,T值6.50,P0.001;骨密度治疗前后无显著性差异,T值1.33,P0.05。结论:低频脉冲电磁场能够明显缓解OP慢性疼痛,是OP的有效物理治疗方法,无不良反应发生。骨密度变化无显著性差异与观察时间短、骨质改变慢等因素有关。 相似文献
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以中间相沥青为前驱体,以KOH和CO2为活化剂,采用物理—化学联合工艺制备了高比表面积的超级电容器用活性炭电极材料;以所制备的活性炭为电极材料制备了2.7V/1500F聚合物超大容量电容器,并对其充放电特性、容量、内阻、循环性能、漏电流、安全性能进行了测定。实验结果表明:所制备的活性炭为电极材料制成的碳基超级电容器,其充放电曲线表现出良好的电容特性,实际容量可达1 670F,活性物质的克容量为110.6F/g,电容器内阻在6mΩ以下;在大电流放电条件下,电容器的能量密度可达5.96 Wh/kg,5 000次循环后容量无明显的衰减现象。过充、短路、挤压和针刺四项安全测试测试结果良好。 相似文献