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1.
李得天 《真空科学与技术学报》2003,23(4):289-294
在真空技术应用中 ,高精度气体微流量计用于连续膨胀法校准系统压力的产生、漏孔漏率的测量以及真空泵抽速的测定。PTB先后研制了三代气体微流量计 ,第一代为手动型 ,第二代为半自动型 ,第三代为全自动型。本文详细介绍了PTB研制的气体微流量计的性能和特点 ,并介绍了气体微流量计在真空漏孔的漏率测量方面的应用。另外 ,还介绍了PTB最近研制的大气压力下漏孔漏率测量系统的性能和特点 相似文献
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在真空系统中,流导作为主要性能参数需要精确测量.介绍了升压法测量小孔分子流流导的测量原理、测量方法、计算公式和不确定度的评定方法.通过对一小孔流导实际测量和不确定度评定,得出升压法测量流导的合成标准不确定度为2.0%,并用线性真空计测量流导的方法对同一小孔的流导测量结果进行了验证.升压法测量流导的方法简单、测量方便,适合于流导的快速测量. 相似文献
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对电离规灵敏度进行模拟计算是预测和优化其性能的关键.提出了一种基于离散电子轨迹片段的离散化方法,用于精确计算理论灵敏度.将考虑边界条件变化的电离规工作过程的基本理论模型表示为由许多离散片段组成的时间线性电子轨道.在每个微小的时间间隔内,通过构造有效电离空间计算和筛选离散的有效电子轨迹片段,并利用Binary-Encou... 相似文献
5.
静态膨胀法真空标准装置的体积原位测定 总被引:2,自引:0,他引:2
在静态膨胀法中,起始压力在膨胀过程中的衰减率为初态与终态体积之比。在我们新研制的金属静态膨胀法真空标准装置中采用气体膨胀技术对体积比进行了原位精确测定。测量仪器为DPC7010石英规和两保满量程分别为133.3kPa和13.33kPa的电容薄膜规(CDG),为了降低测量仪器之间的差异给体积测定带来的不确定度,测量前将石英规和CDG的经对统一起来。这样,体积的测定主要取决于测量仪器的线性,与它们测量 相似文献
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为了提升碳纳米管(CNT)阴极电离规的综合性能和实用性,本文利用离子光学模拟软件SIMION3D8.0和CAD建模软件构建了CNT阴极电离规的物理模型,且通过模拟计算得到不同电极结构参数对CNT阴极电离规各种性能的影响规律。研究结果表明,不同的阴极基座直径、门极尺寸产生不同的电子运动轨迹;电子运动路径随着外屏与阳极栅网之间距离的增大先增大后减小;电子逃逸率随着门极和阳极顶部间距的减小而逐渐增大;聚焦孔直径对正离子的收集影响显著,且气相离子/电子激励脱附离子收集比率在收集孔直径约为2 mm时达到最大。故选用合适的电极结构参数能有效地提高CNT阴极电离规的总体性能,延伸其真空测量下限。 相似文献