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1.
张以忱  黄化岩  李灿伦 《真空》2013,50(4):38-41
本文通过大量的调研工作并根据真空系统设计原理和设计流程,建立了真空系统设计软件开发的过程模型,采用Visual Basic 6.0与Access数据库构建了真空系统设计应用软件。软件主要由启动模块、真空室参数设置模块、真空泵参数设置模块、抽气时间计算模块、保存工程模块等主要模块组成,适用于各真空段。采用计算机软件设计真空系统可以提高计算精度,大幅度提高真空系统的设计效率,缩短开发周期。  相似文献   
2.
磁控溅射靶面磁感应强度的水平分布直接关系到靶材的利用率和刻蚀的均匀性.为了寻求更好的磁控靶结构参数,从而实现靶而水平磁感应强度的均匀分布,作者应用ANSYS软件对SD500型磁控溅射镀膜机的圆平面靶表面磁感应强度进行模拟,应用SHT-V型特斯拉计通过同心十字线法对实物靶表面磁感应强度进行测试,将模拟结果与测量结果进行比较,证明其模拟的准确性.进而对圆平面磁控靶的结构参数进行优化设计,得出靶与磁钢间距为3 mm、磁钢高度为15 mm、内磁柱半径为4 mm、内磁柱高度为14 mm时靶面水平磁感应强度最强、分布最均匀.在工程应用中,设计人员可以预先对靶的参数进行优化设计,使设计的磁控溅射靶更好的满足生产和科学研究的需要.  相似文献   
3.
设计研制了一种用于卫星组件热真空试验的新型红外加热笼,与传统加热带红外笼相比,具有覆盖系数低、降温速率快等特点.通过对三种不同覆盖系数的红外笼的仿真计算,分析了不同加热功率下的试件的温度特性.比较红外笼的试验测试结果与仿真结果,结果表明,受试验测试中热沉背景升温及控温策略影响,同工况下试件的温度均匀性及降温速率较仿真结...  相似文献   
4.
随着薄膜材料在现代工业中的广泛应用,电弧离子镀技术已成为制备功能性膜层的重要方法,在航空航天方面主要面向于功能表面改性、复合材料表面金属化等领域。本文采用磁场控制电弧离子镀靶材表面的弧斑运动,在Ti靶上验证了弧斑在不同磁场下的运动状态,分析了弧斑的运动速度及运动范围。在五种磁场情况下制备Ti N膜层,通过扫描电镜、能谱分析仪、台阶仪、X射线衍射仪等对Ti N膜层的表面形貌、微观结构、成分元素、膜层厚度等进行了分析。结果发现,当磁场控制弧斑均匀地分布在整个Ti靶面,且弧斑运动速度加快时,膜层表面大颗粒数最少,膜层最厚,晶体择优生长方向为(111)晶面。  相似文献   
5.
真空管道的流导,又叫做通导能力。它是管道的重要性能参数,是设计真空系统时必须考虑的因素之一。在计算粘滞流管道流导时,流导跟管道内的平均压力有关,通常的方法是近似把管道入口压力作为管道平均压力。但是当管道较长、真空泵抽速较低或管道入口压力较小时,上述近似方法的误差就变大了。本文对粘滞流下管道的平均压力的取值进行了讨论,分析了近似取管道高压端压力为平均压力时所产生的误差,并提供了粘滞流下管道的平均压力的计算方法等。  相似文献   
6.
为满足某产品在高真空冷黑环境下的红外载荷辐射定标,设计采用了一种复合PID控制算法,在开展大面阵黑体多分区定标器真空试验中,较好地完成了大面阵黑体多分区交叉耦合控温的高精度指标要求。基于工程实践性强的模糊控制与传统PID相结合的分段逼近式控温验证,整体系统控温精度达到±0.1 K,满足设计控温要求。  相似文献   
7.
针对应用于宇航产品试验的特殊性,主要讲述了一种新型可能量调节自复叠制冷系统的搭建,区别于传统自复叠的设计,为提高整个系统能量利用率及高的稳定性,同时实现系统能量可调,可宽温区控温.分析了新系统在不同制冷剂组分配比下,其系统的排气温度、吸气温度、排气压力、吸气压力、蒸发温度、制冷性能COP等参数的变化趋势.  相似文献   
8.
全球半导体、薄膜等新兴行业的生产制造要求对真空泵的结构设计和优化提出了新的要求与挑战。以高度集成、高效节能、简洁紧凑为代表的创新设计理念取代传统设计要求,是目前真空干泵产品设计的主要趋势。本文提出了一种以多腔式涡旋结构为代表的新型结构,与传统涡旋真空泵结构不同,通过多涡旋的集成创新设计,得到多腔涡旋优化结构,具有高集成性和紧凑性的特点。论文以并联式涡旋盘结构展开讨论,基于涡旋啮合原理,分别建立了各涡旋转子的型线方程,通过分析抽气理论数学模型,对比了相同尺寸下,新型多腔结构与传统单腔结构的抽速、热变形、气体载荷分布等性能参数。以四腔结构为例,计算和分析结果表明,并联式新型多腔涡旋结构在提高抽速和获得均匀的气体载荷分布方面有明显的优势,在相同的外形参数下,抽速提高了48.95%,密封线长度减小了41.62%,且在相同的进排气口压强下,四腔涡旋盘最大变形量仅为单腔结构的51.22%。  相似文献   
9.
为满足某型号航天产品的热真空试验要求,设计了专用的控温热沉,由热沉、加热器及配套的控温系统等组成。本文简述了某型号专用控温热沉的设计,并对该结构进行了仿真分析验证,分析结果表明,产品发热量为200W时,空间温度最高可高于+120℃,热沉本体低温可低于-180℃,具备温控条件。温控系统采用PID自适应调节,使用结果表明,能将空间温度度在(-180~+120)℃可控,控温精度可达±0.5℃,满足试验要求。  相似文献   
10.
结合某宇航产品试验用自复叠制冷系统项目案例,针对此系统因回温问题导致机组发生故障进行分析,并对原系统回油管路进行优化设计,通过具体实验测试,通过观察油回路视镜及回油量,结果表明优化后的回油管路设计合理,性能可靠,整个系统能实现顺利回油,延长了压缩机运行寿命,同时,使整个系统的试验可靠及稳定性得到极大的提升。  相似文献   
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