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一般工业技术
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1997年
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1
1.
化学汽相沉积金刚石薄膜的生长
总被引:3,自引:0,他引:3
唐璧玉
靳九成
靳浩
颜永红
李绍绿
夏金童
陈小华
陈宗璋
《材料研究学报》
1997,11(3):334-336
利用热丝化学汽相沉积法生长出优异的金刚石薄膜,研究表明,金刚石的成核依赖于沉积点的尖锐度,薄膜的生长包括晶粒长大和薄膜上的二次成核及其生长,可用分层生长来描述,金刚石晶粒的生长由外延生长和二次成核及其生长组成。也是分层进行的,结果导致了金刚石晶体和薄膜的层状结构。
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