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针对一种SiC材质的非回转对称非球面元件,本文介绍了该元件的加工和检测方法.该实验件的理想面形方程为z=3λ(X3-y3)(x,y为归一化坐标,λ=0.632 8μm),镜胚材料为Φ150 mm的SiC,加工方式为数控机床和手工研抛相结合.在加工过程中为提高加工效率缩短加工时间,选择平面作为最接近表面并认为去除了面形中的倾斜项.去倾斜之前最低点的材料去除量为3.8μm,而去倾斜后则为2.06μm.本文提出了一种新的基于数字模板的非零位检测方法.直接采用Zygo平面干涉仅检测工件,检测结果可以分为三部分:工件实际面形与理想面形的误差,工件理想面形与平面波前的误差和非共路误差.其中第二部分可以事先计算出来并转换为系统误差文件在检测过程中自动去除.通过在相同条件下检测一个已知的球面样板验证了非共路误差对于检测结果的影响可以忽略不计.由此在一次测量中可直接得到面形误差.实验结果表明,基于这种检测手段最后测得实验件的面形精度PV达到0.327λ,RMS优于0.025λ,达到设计要求. 相似文献
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包头市作为一座工矿型城市,历经半个世纪的发展,资源面临枯竭,城市急需转型。在城市总体规划确定转型方向的基础上,钢铁大街作为包头市的标志性街道,积极响应上位规划,立足于重塑城市风貌,创造宜业、宜居的现代都市,分别从宏观、中观及微观对城市建筑体量与形态、地面铺设、室外照明、户外广告及其他家具等方面做出设计引导,合理安排阿尔丁文化庆典广场、中央商务区等城市核心节点的城市功能,促进城市转型。 相似文献
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