SEMI标准在半导体制造设备中的应用

SEMI标准是一项国际通用的半导体行业标准,为研究SEMI标准在半导体制造设备中的应用情况,介绍了SEMI S2半导体设备安全准则、SEMI F47半导体设备电压暂降抗扰度标准并说明了标准的实际应用。分析了SEMI S23半导体设备能源、电力和原料的使用效率标准、SECS/GEM通讯标准及其研究应用现状;提出了我国半导体产业的快速发展需要加大SEMI标准的普及应用。     

半导体制造设备排气通风设计及仿真

从设计标准、性能标准、测试方法等方面介绍了SEMI S6标准,并以CMP后清洗设备为例介绍了排气通风设计中的一些注意事项.以CMP后清洗设备中的清洗槽为例,介绍了利用流体仿真软件对排气通风设计的有效性进行验证的方法,对设备排气通风的设计具有指导意义.     

煤制氢解决PVC生产企业氯平衡实现循环经济

分析了目前我国PVC、烧碱生产企业状况。提出了通过配套固定床煤气发生炉产生氢气和煤气的建议:将氢气用于消化电石法PVC生产过程中的多余氯气(生产氯化氢),而剩余煤气则在固碱生产中作为燃料使用。详细叙述了煤气发生炉配套变压吸附装置生产氢气的工艺流程,并阐述了综合利用过程。     

尿素改性对钠离子电池负极材料NaTi_2(PO_4)_3电化学性能的影响

为提高水溶液钠离子电池负极材料NaTi_2(PO_4)_3(NTP)的导电性和倍率性能,以尿素(CO(NH_2)_2)为碳源采用溶剂热法合成了CO(NH_2)_2/NaTi_2(PO_4)_3(C/NTP)复合负极材料。采用XRD、SEM、TEM、Raman和恒流充放电等手段分析了材料的结构、C/NTP形貌和电化学性能。研究了不同阶段升温速率对C含量、包覆层石墨化程度及对电化学性能的影响。实验结果表明,低于400℃升温速率越小,C/NTP残碳量越高;400~650℃之间升温速率越小,包覆层石墨化程度越高,并提高了其电化学性能;在5C倍率下2℃/min热处理的样品首圈放电比容量为114.9mAh·g~(-1),循环30次后容量保持在91.9mAh·g~(-1);10C下放电比容量为87mAh·g~(-1),20C下放电比容量仍保持在71mAh·g~(-1),展现出高倍率下优异的循环性能。     

MPM-700光学零件抛光平台的研制与改进

论述了用于激光陀螺仪、旋光片抛光的MPM-700光学零件抛光平台的主要结构及特点。介绍了该设备在传动方式、台面选型优化、抛光头装载结构方面较原PG-710抛光设备的技术改进;并通过运用有限元软件对该抛光平台架进行受载情况仿真,消除了抛光过程中抛光盘变形对抛光效果的影响,进而在理论和实践两个方面确定了该设备已达到设计要求。     

钼不邪视

<正> 钼是人体必需的微量元素之一,体内含量很 低,需要量很微,对人体健康有重要影响,缺乏或过多均可引起一定的疾病。 在自然界中,钼不以纯金属状态存在,它与其他元素缔合。在钼的5种氧化状态(2～6)中,最主要是四价钼和六价钼。在洗浴液中,例如土壤和天然水体中,钼的主要形式为钼酸根阴离子;在含中等或高浓度钼的溶液中,钼易于累合许多络合结构,包括多聚钼酸。钼     

乙炔发生系统常见问题与改进措施

介绍了目前我国电石法PVC湿法乙炔发生器及配套设施的使用状况,详细分析了乙炔发生系统常见异常现象(如溢流堵塞、排渣不畅、加料斗不下料等)及必要的安全保障措施,并提出了解决办法及建议。     

基于仿真分析的设备微环境控制技术

论述了一种基于仿真分析的半导体设备内部空间气流路径、紊流位置、各分区风压的闭环反馈系统及结构,目的在于使设备能够自动净化内部空间气体,防止颗粒凝结,从而达到控制并改善半导体设备内部微环境的目的.     

钛白副产硫酸亚铁合成高铁酸钠工艺研究

Na2FeO4是具有氧化、杀菌消毒、漂白、脱色、净化等特点的高效水处理剂.本文将钛白副产的廉价FeSO4净化处理后得到医药级FeSO4,并以此为原料合成Na2FeO4,结果表明,Na2FeO4优化合成条件:NaClO体积30mL,FeSO4·7H2O用量2.2g,NaOH投加量15g,反应温度40℃,反应时间60min...     

铍与人体健康

铍是一个对人体有害的金属元素。日常生活中人们很少接触到，接触主要是指职业接触。铍病是接触铍或其化合物所致的以呼吸系统损害为主的全身性疾病。对铍及其化合物的毒性，国外研究已有 100余年。短期内吸入高浓度铍或其化合物，主要引起急性呼吸道炎性病变的急性铍病，国内曾在投产初期 (1962年前 )发生近百例；但接触铍或其化合物后，经一定的潜伏期发生以肺部结节性病变或肺间质纤维化为主病变的慢性铍病仍偶有发现。 铍病特征：吸入铍对人体损害的主要“靶器官”是肺；接触铍及其化合物可引起接触性皮炎、铍皮肤溃疡和皮下结节性病变。急性铍病有明显的鼻咽部干痛、剧咳、胸骨后不适等呼吸道刺激症状，严重者可出现肺水肿、呼吸衰竭或其他脏器损害；慢性铍病可出现呼吸功能不全，肝大、肝功能或转氨酶异常。急、慢性铍病的常见症状均无特异性。