高纯三甲硅烷基胺制备工艺的技术进展

三甲硅烷基胺是集成电路制造中重要的硅基前驱体，广泛用于高深宽比结构的硅介电膜沉积。介绍了合成三甲硅烷基胺的相关反应原理，综述了高纯三甲硅烷基胺的制备工艺，分析了各自的优点及不足，并展望了未来的发展趋势。     

高纯电子级 SiF4 中氟硅醚阻聚剂的设计及其性能

在高纯电子级四氟化硅生产与纯化中,很容易产生氟硅醚杂质,甚至可以与四氟化硅进一步聚合生成氟硅醚高聚物。该高聚物可从胶体迅速聚集成颗粒,很容易堵塞管道和吸附剂,极易发生安全事故。根据硅醚键氟化断裂的化学性质,设计了一系列基于金属氟化物组成的氟硅醚阻聚剂。结果显示,Ag F2阻聚剂具有阻聚热力学效率高、动力学速率快的特点,可以使氟硅醚杂质有效控制浓度在20×10-6以下。四氟化硅重复50次(每次用量10kg)通过Ag F2阻聚剂仍然具有优秀的阻聚性能,故该阻聚剂具有良好的长期稳定性。     

浅述二碘硅烷的合成研究进展

在大规模集成电路制程中,二碘硅烷作为硅前驱体可以在众多基材上进行气相沉积,被列为从10 nm线宽跨越到6 nm线宽制程的关键硅源物质。对二碘硅烷的制备和纯化方法进行归纳和总结,为国内高纯二碘硅烷的研发和生产提供参考,促进国内硅源前驱体的发展。     

乌石凹陷流一段岩性圈闭形成机制及精细刻画

钻井揭示流一段砂体单层普遍较薄，而乌石凹陷地震资料频率偏低，利用沉积模式指导流一段岩性体揭示，利用地球物理技术精细刻画流一段砂体，从而达到落实岩性边界，描述岩性圈闭的目的。小波分频技术能在保幅的基础上大大提高地震分辨率，有色反演则能精细地刻画无井区、少井区的岩性边界。通过以上技术手段，精细描述了乌石凹陷流一段三期砂体的横向展布范围，新落实多个岩性圈闭，推动乌石岩性油气藏勘探，引领乌石凹陷领域勘探突破方向。