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本文综述微机电系统(MEMS)的研究背景、含义、意义、现状及应用前景,并提出我国发展MEMS研究的策略.  相似文献   
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提出一种新型三自由度微机器人的机械结构及其控制系统。微机器人的机构具有三轴一体、体积小和内藏传感器等特点。计算机仿真和实验结果表明,该微机器人的动态性能好,重复精度高,既可以单独使用,也可安装在一般工业机器人的终端执行器上,从而构成高精度装配机器人和能进行各种檄操作的高精度机器人。  相似文献   
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