MEMS悬浮结构深反应离子刻蚀保护方法对比研究

分别对基于硅玻键合与硅硅键合的MEMS加工工艺中悬浮结构深反应离子刻蚀保护方法进行对比研究,获得最佳结构刻蚀保护方法。基于硅玻键合工艺的最佳刻蚀保护方法：在结构层背面溅射金属作为保护层;基于硅硅键合工艺的最佳刻蚀保护方法：将结构刻通区域衬底硅暴露及结构层背面制作图形化的SiO2保护层相结合的方式保护。结构保护后,经长时间过刻蚀,结构依然完整无损。     

浅析dBASEⅢ索引文件的结构

本文对dBASEⅢ索引文件的结构进行了分析,提出了文件中一些重要字节的作用,为建立dBASEⅢ索引文件与其他高级语言的软接口提供了一种实用方法。     

Linux下的流量计量数据短信查询系统

随着短信技术日益广泛地应用,短信数据查询作为一种新兴的数据查询方式,以其快捷、方便、实用等优点受到人们的关注。流量计量数据短信查询系统,使人们可以充分利用移动(或联通)公司提供的手机短信服务功能,轻松完成对流量计量数据的查询。一、流量计量数据短信查询系统流量计量数据短信查询系统(如图1所示)主要由移动用户、GSM模块、SMS Server、流量计量数据库服务器、现有OA系统和配套软件构成。GSM模块通过标准的串口或USB口与SMSServer连接。“移动用户”是指手机用户。“SMS Server”是指专用于短信收发系统的服务器,可用专…