等离子体的Langmuir探针诊断及数值滤波

Ｌａｎｇｍｕｉｒ探针是诊断等离子体荷粒子参数的重要手段。本文首次报道了用加热的调谐探针,在抑制了对探针的射频干扰和“中毒效应”之后,对探针Ｉ－Ｖ曲线的统计涨落噪声进行了数字滤波的光滑化处理,获得了射频辉光放电硅烷等离子体的电子能量分布函数,平均能量和浓度等重要参数。     

SiCl4-H2为气源低温制备多晶硅薄膜

以SiCl4 H2 为气源 ,用等离子体化学气相沉积技术 ,在衬底温度仅为 2 0 0℃时能获得多晶硅薄膜。最大晶粒达 1.5 μm ,结晶度在 90 %以上。薄膜中不含Cl、H、C、N、O等杂质 ,暗电导率高达 10 -4Ω-1·cm-1,光照稳定性好。对氯元素在低温成膜中的作用进行初步讨论。     

数字基带直传在光纤通信中的实现

利用光纤通信系统原理综合实验箱，可有效实现一个基本的数字电话基带直传，描述了该实验的工作原理及具体实现。在短距离传输的基带直传方式中，要增加单模光纤的带宽，应采用1B2B的CMI码，这样信道编码的误码增值几乎为零，大大提高信噪比，改善传输质量。并在此基础上讨论及分析了一般光纤通信系统的运作原理及其技术特点。     

等离子体化学气相沉积参量对Ar等离子体电子特性的影响

采用加热的调谐单探针技术。研究了射频辉光放电Ar等离子体空间电子能量分布函数,电子平均能量和电子密度,并系统分析了等离子体增强化学气相沉积工艺参量对等离子体空间电子特性的影响。