排序方式： 共有1条查询结果，搜索用时 0 毫秒
1
1.
基于塑性变形的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺 总被引：2，自引：0，他引：2
研究了基于塑性变形工艺的自对准垂直位错梳齿结构制作工艺,主要包括采用非SOI硅片实现可动电极和固定电极的绝缘,通过KOH各向异性腐蚀制作凸台实现可动梳齿和固定梳齿的精确自对准,利用塑性变形使可动梳齿和固定梳齿在垂直方向上产生位错,以及结构释放后用硅片做掩膜制作电极引线块.最后利用该工艺成功地制作出一个垂直位错梳状驱动器. 相似文献
1