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上海光源3.5GeV电子储存环超高真空室采用铝合金材料,经数控加工后焊接而成,其结构复杂,精度要求高.在预制研究中成功地完成了一段6 m长典型真空室的设计、制造与调试.该真空室的平面度达到0.23 mm,横向偏移量1.4mm,内表面单位面积出气率4.1×10-10 Pa·m/s.在研制中暴露出结构设计和加工工艺等方面的多种问题,并找到了妥善解决的方法,为工程批量生产准备了条件. 相似文献
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