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1、引言 近年来,随着科学技术的不断发展,真空技术的重要性与日俱增,而且开始要求比以往更高、更清洁的真空环境。所以自扩散泵问世之后,曾一度被忽视的分子泵又再次引起人们的重视。 分子泵与扩散泵不同,它不用油或水银之类的工作液,因而可获得清洁的真空;又因它的极限真空只取决于系统的泄漏和放气,因此如果用真空处理过的材料制成具有良好排气性能的多级轴流叶轮,那么就能获得超高真空。 Hablanian[1]通过10级的轴流压缩机在低压下工作,得到了3×10～(-4)乇的极限真空和叩左右的压缩比。 德国Arthur Pfeiffer公司,利用Becker[‘]的专利… 相似文献
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1、前言 轴流分子泵是机械泵的一种。它是利用轴流叶轮在分子流区域内高速旋转获得低压强的超高真空泵。在实际的轴流分子泵中,通过几十级的叶轮以150～200米/秒的圆周速度旋转能够获得10～(-8)～10～(-11)乇的极限真空度。 笔者为说明轴流分子泵的抽气机理,首先分析了平板式单叶轮在分子流区域内的抽气特性,然后通过实验证实该分析法是可行的,进而阐述了叶片几何尺寸、叶片速度与抽气特性的关系(1)。 在单叶片的场合,在其叶片的进气侧和出气侧都面对很大的空间,但是要把几枚叶片组合时,至少有一侧满足不I这个条件。所以说,组合叶片的抽气… 相似文献
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1.引言 为阐明轴流分子泵的抽气机理,笔者不久前曾对轴流叶轮在分子流区域内的抽气特性进行了研究(1)(2)。 在用油扩散泵作前级泵时,前级真空端的真空度要保持在10～(-4)乇以上,这时构成轴流分子泵的全部叶轮就可以认为形成分子流。但是若只是用油旋转泵作前级泵时,前级真空端的真空度则变为10～(-3)～10～(-2)乇。其结果,据我们推测,在构成轴流分子系的叶轮中靠近出气侧的几个叶轮上,气体分子之间的碰撞次数等于叶板与气体分子之间碰撞次数,即变成所谓的过渡流状态。关于过渡流区域的研究甚少,对它怎样处理目前还没有一个准确的方法。 Scb… 相似文献
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2004年10月23日发生的新潟县中越地震,是日本将最大震级设定为“强度7”以来,初次观测到的最大震级7的地震。震级设定来源于阪神淡路大地震以神户为中心的城市地区,而中越地震的情况则是,周围为山区的地方城市中间地带的大规模破坏。中越地震第一次主震（17时56分）后,强烈的余震持续发生,在山区中间地带,地壳板块灾害的发生使受灾面更加扩大。 相似文献
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[符号] a=ZRT/M:分子的最可几速率(R:气体常数;T:气体温度;M:分子量)。 b:叶片的弦长(第四章中用l表示)。 C= V/a:叶片速度比。 Dxj(Dyj):叶片(x)[(y)〕的微小面积dx(dy)反射出来的分子束中直接到达 区域(j)的几率。 Dxj:(Ux一Uy) Ndx的分子束中直接到达区域(j)的几率。 F(x, y) dy[F(y, x) dx]:叶片(x)〔(y)]的微小面积dx(dy)反射 出来的分子束中直接到达dy(dx)的分子的比例。 F (, ) d: d反射出来的分子束中直接到达d的分子的比例(,表示 x, y,s,s’中的一个)。 h:叶片高。 m12:由区域①出来不与叶片碰撞直接到达区域②的几率。… 相似文献
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