光刻机小型复合节流静压气浮导轨微结构参数设计

在光刻机可变狭缝系统(VS)中,紧凑型复合节流静压气浮导轨是实现高精度、高加速度运动的首选结构.研究表明,导轨气浮工作面上加工浅腔、凹槽等微结构可以改善负载性能.然而,微结构微米级变化对导轨性能的影响尚不清晰.文中采用作者提出的网格自适应法,定量研究了微结构四个参数的影响,揭示了微结构变化对导轨负载性能的影响规律,并利...     

微结构参数对静压气体导轨节流系数和转动刚度的影响

小型复合节流静压气体导轨是保证光刻机高速运动和精确定位的关键部件.为提升导轨的承载力及刚度,在工作面常增加浅腔和沟道等微结构,但微结构对导轨的力学特性、特别是转动刚度的影响一直不清晰.采用网络自适应方法研究了微结构的四个主要参数的影响,以此为依据归纳拟合出修正节流系数,建立了带有修正节流系数的导轨性能半解析模型,揭示了...