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阐述了一种基于微机电系统的纳米力学测量方法和系统。开发了一种多功能的纳牛力致动器,可同时满足微拉伸测试系统、原子力显微镜等系统的需要,该致动器基于微机电系统,以静电侧向梳齿为基本结构,采用变间隙设计结构,实现小芯片尺寸、低压驱动、高分辨率(nN量级)和大输出力(大于1 mN),并介绍了该测试系统的原理、结构、微机电系统的安装以及一些相关实验结果。 相似文献
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介绍了以3458A为测量仪器基于LabView实现了标准电阻的精密测量系统设计.首先介绍了以3458A硬件测试系统,详细讨论了在LabView软件开发环境中实现标准电阻的自动测量的程序设计思路.针对Aglient3458A的功能特点,通过对3458A的各项配置实现此测量系统的速度要求,达到自动测量的需要,最后对测量结果... 相似文献
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