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激光蒸发薄膜钪系阴极的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
利用现代激光蒸发薄膜沉积技术,完成了Sc2O3+W薄膜的沉积实验研究,并应用于薄膜型钪系阴极的研制。初步实验表明,这一方法具有稳定、易控、省时、省料和工艺重复性好的优点。所研制的阴极显示了优异的发射性能和良好的激活与耐高温特性。 相似文献
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激光蒸发薄膜钪系阴极的研究 总被引:4,自引:0,他引:4
利用现代激光蒸发薄膜沉积技术,完成了Sc2O3+W薄膜的沉积实验研究,并应用于薄膜型钪系阴极的研制。初步实验表明,这一方法具有稳定、易控、省时、省料和工艺重复性好的优点。所研制的阴极显示了优异的发射性能和良好的激活与耐高温特性。 相似文献
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