滑阀真空泵的结构分析和节能探讨

本文分析了滑阀真空泵主要零部件的结构特点和发展趋势,对泵的各项能耗进行了详细的讨论,并对降低能耗的可能性作了深入的探讨。     

罗茨真空泵的噪声机理及控制

对直排大气罗茨真空泵独特的排气噪声机理--"声波堆集"进行初步探讨,提出新的消声理论--"缝隙消声",根据该理论,设计的缝隙式复合消声器,取得了较好的消声效果.     

Ti掩膜图形层对外延生长GaN薄膜晶体质量的影响

采用氢化物气相外延(HVPE)方法在2英寸(1英寸=2.54 cm)c面蓝宝石衬底上外延生长了高质量GaN单晶薄膜.在GaN生长过程中引入点状和条状两种金属Ti掩膜图形层,研究了不同Ti掩膜图形层对外延生长GaN薄膜晶体质量的影响.使用微分干涉相差显微镜(DICM)、扫描电子显微镜(SEM)、阴极荧光光谱(CL)、喇曼光谱和X射线衍射(XRD)对制备的GaN样品结构和形貌进行了表征分析.实验结果表明,Ti掩膜图形层的引入可以在一定程度上改善GaN薄膜的表面形貌,缓解材料中的应力,降低GaN材料中的位错密度,提高材料的结晶质量.同时发现,相比于点状图形,条状Ti图形掩膜层可以更加有效地改善GaN材料的晶体质量,将位错密度降低到3.2×106 cm-2以下.