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1.
EL红外缺陷测试仪关键参量校准方法研究
张可佳
张碧丰
熊利民
周桃庚
张俊超
孟海凤
蔡川
赫英威
李晓辉
王常世
《计量学报》
2018,39(2):246-250
基于空间频率响应测试方法,搭建了EL红外缺陷测试仪关键参量的校准装置。分析了对焦以及位置摆放对分辨率校准结果的影响;给出了便携式和固定式EL红外缺陷测试仪相应的测试方法及操作流程。提出了一种针对便携式的测试方法,可以实现无参考背景情况下的校准工作。基于该校准装置可对各类EL测试仪的分辨率参数进行校准,测量结果重复性较好。
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