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本文详细介绍了FLK-150型反应离子刻蚀机的工作原理、设计计算、性能指标、结构特点及实验结果,并对气体流型、排气系统等进行了讨论. 相似文献
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微细金属图形制作中的剥离技术 总被引:13,自引:2,他引:11
介绍了用于微细金属图形制作中的剥离技术的一些基本要求,同时阐述了常用的几种剥离方法、简单原理及一些具体应用实例。 相似文献
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声表面波器件内连技术的发展趋势探讨 总被引:1,自引:1,他引:0
随着SAW器件向小型化、轻型化的发展,传统的引线键合技术已对其形成严重制约。倒装焊技术在30年前发展起来,它解决了器件小型化发展的问题,并与平行封焊等工艺手段一起,促进了表面贴装技术(SMT)的发展,也越来越多地用于其他工业中。文章介绍了传统线焊工艺的局限性,倒装焊工艺的核心技术以及对面临的困难可能的解决方法。 相似文献
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本文简述了中频感应加热条件下的浮秤自动控径技术.实现了自动放肩、等径、收尾和升降温.长出了直径43±1mm、长70mm、径差≤±1%的透明LiTaO_3. 相似文献
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本文主要讨论了固体电子学中低温等离子体技术中的数百瓦至几千瓦的射频大功率放大器设计问题,对其中晶体振荡器、缓冲放大器、中功率放大器、推挽中和放大器等作了必要的讨论;对确定板极振荡回路及耦合回路参数给出了某些数据,同时给出了两种匹配网络的设计计算公式. 相似文献
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