涡轮分子泵制造工艺的一些改进及其在微波管排气的初步应用

我所制造的ＡＧ０７５、 ０２８型立式涡轮分子泵与我国ＦＢ—１型立式涡轮分子泵是同一类型产品。在制做过程中对电机、隔离环等进行了一些改进。产品制成后，对Ｏ型运波管进行了排气实验，通过排气过程的质谱分析及管子封离后的频谱分析表明管子的主要性能（信／杂、寄生调频、边带噪声等）都优于有油排气系统（机械泵＋扩散泵＋冷阱），平于无油排气系统（分子筛吸附泵＋钛升华泵＋离子泵）。