柠檬酸盐法制备纳米晶SrCe_(0.95)Yb_(0.05)O_3-α

用柠檬酸盐法合成了超细的SrCe0 .95Yb0 .0 5O3 α粉体。使用TG ,DTA ,XRD ,TEM测试手段 ,对试样的特性进行了表征 ,由TEM知团粒粒径范围在 40～ 6 0nm ,由XRD计算出原始晶粒的精确尺寸 14.78nm     

碘过饱和KoH溶液腐蚀硅尖技术研究

氢氧化钾溶液腐蚀硅尖具有易于实现、设备简单、优异的纵向腐蚀均匀性等优点,但腐蚀均匀性差、纵向和横向腐蚀速率之比低、针形为不对称的八棱锥.通过在KOH溶液中添加过饱和的碘单质(I2),显著减小了快腐蚀面的削角速率,在较小的掩膜下腐蚀出高的硅尖.更为重要的是该腐蚀液腐蚀的硅尖异于常规的不对称八棱锥,而是一种半锥角很小的"火箭尖"形状,因此可望获得更好的扫描特性和隧道效应.     

致密SrCe_(0.95)Y_(0.05)O_(3-δ)在含氢气氛下的电化学性质研究

通过变换工作温度、施加电压、氢气分压、氢气流速等参数,对致密材料ＳｒＣｅ０．９５Ｙ０．０５Ｏ３－δ的电化学特性做了研究．同时,对该材料在高温下的电导稳定性做了初步探索．发现该种材料在高温氢气氛中有较好的质子传导性,施加电压及氢分压改变对质子传导性影响显著,流速对之影响在低温区不明显,但在高温区影响较大．最佳流速可选为 ３０ｍＬ／ｍｉｎ．     

致密SrCe0.95Y0.05O3-δ在含氢气氛下的电化学性质研究

通过变换工作温度,施加电压,氢气分压,氢气流速等参数,对致密材料SrCe0.95Y0.05O3-δ的电化学特性做了研究,同时,对材料在高温下的电导稳定性做了初步探索,发向该种材料在高温氢气氛中有较好的质子传导性,施加电压及氢分压改变对质子传导性影响显著,流速对之影响在低温区不明显,但在高温区影响较大,最佳流速可选为30mL/min。     

含添加剂的各向异性腐蚀液中实现小掩膜下高硅尖的腐蚀

各向异性KOH溶液腐蚀硅尖具有简单、易于实现、成本低廉、(100)晶面腐蚀速率均匀等优点.然而在40%KOH溶液中削角速率和(100)晶面的腐蚀速率之比约为1.6~1.9,并且该比值随着KOH浓度的减小而增大.如此高的削角速率会给AFM探针的制作带来技术上的困难.而对腐蚀场发射器件和隧道式传感器的硅尖阵列来说,高的削角速率会减少单位面积内的硅尖数量.本文通过在氢氧化钾(KOH)或者四甲基氢氧化胺(TMAH)溶液中添加适当的添加剂(如异丙醇(IPA)、1,5戊二醇或碘)降低了削角速率,在较小直径的掩膜下腐蚀出高硅尖.实验结果还表明:在TMAH基腐蚀液中每个硅尖的八个快腐蚀面的削角速率几乎相等,硅尖直径偏差较KOH溶液中腐蚀的硅尖直径偏差更小,因此成品率得到了提高.