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1.
用同步辐射光源进行大规模集成电路和微器件光刻是现阶段的一项高新技术。本文介绍同步辐射光刻的镜扫描控制系统。它的设计思想,所采用的方法以及最优控制等都具有科技应用和经济价值。 相似文献
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用同步辐射光源进行大规模集成电路和微器件光刻是现阶段的一项高新技术,本文介绍同步辐射光刻的镜扫描控制系统,它的设计思想,所采用的方法以及最优控制等都具有科技应用和经济价值。 相似文献
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介绍了7204工作面概况及突水过程,针对该事故原因进行了详细分析和探讨,并提出了今后的预防措施。 相似文献
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捷克斯洛伐克于1989年7月20~25日在上海多国纺织和服装工业展览会上展出了Arachne2540NI型缝编机,并在展览会期间举行技术交流,介绍缝编机工艺性能、产品以及发展前景。现将有关内容整理如下。 (一)概况 捷克斯洛伐克的缝编技术在50年代初开始研究,于60年代后期得到了工业化应用,已成为纺织技术中的一个新的分支。Arachne 2540NI型缝编 相似文献
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在同步辐射光刻光束线和实验站上进行大规模集成电路光刻,其均匀性问题直接影响暴光样品的成品率。利用计算机对暴光均匀性信号进行快速精细在线测量。讨论了光刻光束线在线实时控制系统和它的基本特征。 相似文献
10.
微生物对黄铜矿阳极溶解的作用 总被引:1,自引:0,他引:1
用循环伏安法作为测试手段,研究了块状黄铜矿电极在没有和有嗜温微生物存在情况的电化学行为,对于氧经亚铁硫杆菌,氧化硫硫杆菌和氧化亚铁钩端螺旋菌应用的是基本培养物。结果表明,随着细菌的处理,黄铜矿的反应活性逐渐加强。当施加的电位增大时,经微生物处理后的黄铜矿阳极溶解过程与钝化层的破坏有关。 相似文献